HORIBA 堀场 SEC-E431X 数字质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

• 核心传感技术：采用高可靠性热传感器（热式测量原理），通过测量气体流经传感器时的温度差来**计算气体的质量流量，确保测量的精准度与稳定性。
• 执行与控制原理：内置高性能电磁阀作为流量调节执行机构，结合模拟控制电路，实现对气体流量的快速响应与高精度闭环控制。
• 标定气体技术：作为追求性价比的型号，其标定气体通常涵盖 N2、O2、Air、H2、He、Ar 等常规工业与半导体常用气体。

三、 产品优势与特点

• 大流量控制能力：突破常规流量限制，*高支持高达 200 SLM 的大流量控制，满足大型设备的工艺需求。
• 宽广的流量范围：具备从 10 SCCM 到 200 SLM 的宽广流量控制范围，适用性极强。
• 高性价比与经济性：在保持高性能和高速响应的前提下，通过优化标定气体种类来降低成本，是**成本优势的模拟型 MFC。
• 高可靠性与通用性：凭借成熟的热传感器和电磁阀组合，该设备在一般工业市场拥有极高的市场占有率和交付实绩，运行极其稳定。

四、 主要应用场景

• 半导体制造工艺：广泛应用于 PECVD、MOCVD、Etch（刻蚀）等关键工艺中的气体流量控制。
• 晶圆制造与冷却：用于晶圆背面冷却气体（如 He 气）的压力与流量控制，以及静电卡盘系统配套。
• 泛半导体与工业气体控制：包括各种生物工艺中的 Air/O2/CO2 流量控制、燃烧器气体控制、设备 purge（吹扫）气体控制，以及需要积算消费流量的自动化流量控制设备。