HORIBA 堀场 SEF-E40 质量流量计

一、 产品定位

HORIBA SEF-E40 属于大流量、经济型质量流量计（Mass Flow Meter）。它是 HORIBA STEC 推出的 SEF-E 系列中的基础型号，定位为追求成本优势（Low Cost）、同时需要可靠热式传感与电磁阀设计的模拟输出型气体流量测量设备。与带控制阀门的 SEC-E40 不同，SEF-E40 仅用于流量的测量与监测，不带控制功能。

二、 核心技术和原理

1. 热式传感技术（Thermal Sensor）：采用高可靠性的热式传感器进行流量测量。与体积流量计受环境温度和压力影响不同，热式质量流量计直接测量流体质量，不易受外在环境因素干扰，无需进行温压补偿即可实现高精度测量。
2. 电磁阀结构（Solenoid Valve）：内置电磁阀设计，非通电时阀门默认处于关闭状态（Fail Close），提升了设备的**性和自动化控制兼容性。
3. 模拟量信号输出：采用 0~5VDC 的模拟量输出信号，方便直接接入各类 PLC 或上位机系统，实现流量数据的实时监控与积算。

三、 产品优势与特点

1. 成本优势：专为追求设备小型化、高性能化及低成本化（ローコスト）的制造设备设计，是**性价比的经济型选择。
2. 宽广的流量测量范围：同一系列可覆盖从微小流量（0.2 SCCM）到大流量（500 SLM）的测量需求（以 N2 为标准）。SEF-E40 具体提供 10~500 SCCM 或 1~10 SLM 等多种标准量程。
3. 高精度与高稳定性：具备 ±1% F.S. 的流量精度、±0.5% F.S. 的直线性以及 ±0.2% F.S. 的反复性，响应速度在 1秒以内 (T98)。
4. 优异的密封与材质：气体接触部采用 SUS316L 不锈钢、氟化橡胶、PTFE 及磁性不锈钢，外部泄漏率极低（1×10⁻⁸ Pa·m³/s(He)以下），耐压可达 1MPa(G)。
5. 广泛的适用气体：标配适用于非腐蚀性气体；MK3 衍生型号可专门针对 N2、O2、空气、H2、Ar、He 等常见气体进行优化。

四、 主要应用场景

1. 半导体与光伏制造：用于扩散炉、CVD 等设备的载气、吹扫气体（Purge Gas）流量监测。
2. 一般工业燃烧控制：各类工业燃烧器的燃气流量计量与监控。
3. 实验室与研发设备：用于气体传感器性能评估、燃烧室测试、生物技术相关评价及自动化实验设备的流量监测。
4. 环境监测与混合气体生产：大气气体监测、环保设备排气流量测量以及多组分混合气体的配比监测。