HORIBA 堀场 SEF-E50 质量流量计

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

1. 热式测量原理：采用热式质量流量测量技术。相比于受环境温度和压力影响的体积流量计，质量流量计在测定流体质量时不易受外在因素影响，能够实现高精度的流体测量。
2. 高可靠性传感器与电磁阀：搭载了高可靠性的热传感器以及电磁阀（Solenoideバルブ），保证了测量的稳定性和耐用性。
3. 全金属与耐腐蚀材质：气体接触部材质采用 SUS316L、PTFE（聚四氟乙烯）、氟化橡胶及磁性不锈钢，阀门采用非通电时关闭的**设计，确保超洁净与高密封性。

三、 产品优势与特点

1. 宽广的流量范围：同一系列支持从 0.2 SCCM 到 500 SLM（以 N2 为标准）的宽广流量测量，SEF-E50 的标准量程涵盖 20/30 SLM 的大流量段。
2. 高精度与快速响应：具备 ±1% F.S. 的流量精度和 ±0.2% F.S. 的重复性；响应速度在 1 秒以内（T98），满足自动化和快速工艺的需求。
3. 低成本与高经济性：作为经济型产品线，专为成本敏感型客户设计，在保证性能的同时大幅降低了设备的采购和维护成本。
4. 优异的耐压与密封性：使用压力在 300kPa(G) 以下，耐压达 1MPa(G) 以下；外部泄漏率极低（1×10⁻⁸ Pa·m³/s He 以下），保障气体**。
5. 广泛的适用性：适用于非腐蚀性气体（如 N2、O2、空气、H2、Ar、He 等），兼容环境温度范围广（5~50℃）。

四、 主要应用场景

SEF-E50 被广泛应用于从一般工业到高科技产业的各类制造领域，主要包括：

• 半导体与光电工业：用于半导体制造、太阳能光电工业及微加工制造业中的气体流量**测量。
• 燃烧与热处理：各类燃烧器气体（バーナーガス）的流量测量。
• 工艺吹扫：设备或管路中的吹扫气体（パージガス）流量监控。
• 实验室与自动化设备：实验气体的流量测量，以及需要自动化流量测量、需掌握消耗流量累积量的生产设备。