一、 产品定位

二、 核心技术与原理

• 驱动原理：采用压缩空气作为动力源，通过气缸驱动阀杆旋转，带动蝶板作90°回转运动，从而实现对管道中介质的切断或流量调节。
• 机械传动技术：采用简单可靠的齿条齿轮驱动机构，将气缸的直线运动转换为阀板的旋转运动。零部件数量少，长期运行可靠性高。
• 气动缓冲与增压设计：气缸设计精巧，在开启时推力倍增以确保动作可靠；同时在行程末端具有空气缓冲（气垫）效果，有效减缓阀板到达全开位置时的冲击。
• 高真空密封技术：全闭时，阀体通过氟橡胶（FKM）O型圈实现完全密封，泄漏量可控制在 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 以下。

三、 产品优势与特点

1. 极薄面间与高电导性能：阀体面间极薄，占用管路长度短；且相对于其口径，具有所有真空阀门中*高的电导性能，流阻极小。
2. 安装灵活无限制：对安装姿势和方向没有任何限制，可水平、垂直或倾斜安装，适应不同管路布局。
3. 高洁净度制造：在无尘室（洁净室）中完成组装和检查，气体接触部件采用SUS304不锈钢，适合对颗粒污染极其敏感的工艺。
4. 状态反馈与检测：气缸上标配微动开关，可精准检测并反馈全开和全闭的位置状态至上位控制系统。
5. 多规格适配：口径覆盖25A至400A，法兰形式支持JIS、ISO、KF（NW）、CF等多种标准。
6. 两段控制能力（BH系列特有）：其衍生型号BH系列具备两级气缸结构，可在0°~45°范围内任意设定中间开度，单阀即可实现慢速抽气和快速排气的两段控制，减少气流对腔体的冲击。

四、 主要应用场景

• 半导体制造：刻蚀、CVD（化学气相沉积）、PVD（物**相沉积）等工艺的真空腔体排气与压力控制。
• 新能源与光电：光伏光学镀膜设备、太阳能电池真空制备、锂电高真空主管路切断与流量闭环控制。
• 科研与实验室：高真空实验舱、光谱真空样品台、电镜配套气路等精密科研设备的真空管路搭建。
• 工业真空设备：工业真空炉、干燥设备、机器视觉真空检测设备、真空焊接及精密热处理设备。
• 环保与精细化工：废气废液真空处理设备、水质真空光谱采样系统、有机溶剂真空光谱检测等。