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MIYUKI美幸辉 G 系列真空气动闸阀
产品型号:G-150
产品简介:

MIYUKI 美幸辉 G 系列属于高性能薄型真空气动闸阀(插板阀),定位中**工业真空隔断阀门,高于同品牌 L 经济型系列,面向频繁启闭、存在双向背压冲击的严苛洁净真空制程;通径覆盖 DN40‑DN500,适配常压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间,兼容 KF、CF、ISO、JIS 多种法兰标准,是半导体、镀膜、锂电、真空热处理产线的管路隔离主流选用阀件,可用于新设备配套以及日系进口真空设备备件替换

详细介绍

MIYUKI美幸辉 G 系列真空气动闸阀

产品定位

MIYUKI 美幸辉 G 系列属于高性能薄型真空气动闸阀(插板阀),定位中**工业真空隔断阀门,高于同品牌 L 经济型系列,面向频繁启闭、存在双向背压冲击的严苛洁净真空制程;通径覆盖 DN40‑DN500,适配常压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间,兼容 KF、CF、ISO、JIS 多种法兰标准,是半导体、镀膜、锂电、真空热处理产线的管路隔离主流选用阀件,可用于新设备配套以及日系进口真空设备备件替换。

核心技术和原理

  1. 推力倍增 + 气缸气垫缓冲机构:侧向布置紧凑型气动气缸,关阀行程末端实现机械推力放大,压紧阀板;行程终点内置气动气垫缓冲,吸收闸板撞击冲击力,降低震动与微粒产生;支持双作用、单作用弹簧复位气缸结构,气源 0.4‑0.6MPa 压缩空气驱动完成阀门启闭。
  2. 等间距球压多点密封技术:阀瓣采用滚珠均布压紧密封结构,实现阀座密封圈均匀受力,正向、反向背压工况均可维持可靠密封,耐受腔体破空、真空泵启停带来的反向压差冲击。
  3. 真空钎焊内腔低释气工艺:阀体 SUS304 不锈钢抛光板材真空钎焊一体化成型,消除内腔死角,减少气体析出;产品在洁净室内完成装配、整机氦检漏,壳体漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s,阀座漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s。
  4. 阀位信号反馈机制:配置微动 / 磁感应开关,输出开、关到位信号,可对接 PLC 系统,实现真空系统自动化联锁控制。

工作原理:洁净压缩空气驱动气缸带动闸板做直线运动;全开时管路大流通导通;关闭时推力倍增机构将阀板压紧阀座,切断真空管路气流,实现腔体、泵组之间隔离隔断。

产品优势与特点

  1. 双向抗背压密封性能优异,可承受反向压差冲击,适配真空泵隔离、腔体破空等复杂工况,密封稳定性强。
  2. 薄型紧凑机身,气缸侧向布局,相比同口径闸阀体积更小,节省设备内部安装空间,无安装姿态限制,卧式、立式均可装配。
  3. 气垫缓冲启闭,降低撞击噪音、减少微粒生成,密封圈寿命长,适合高频次反复开闭工况。
  4. 低放气洁净阀体,内腔无积气死角,洁净室组装氦检,满足洁净工艺制程要求。
  5. 法兰规格齐全:KF (NW)、CF、ISO‑F、JIS 法兰可选,通径 DN40‑DN500,选型适配性强。
  6. 模块化密封组件,密封件可单独更换,阀体无需整体拆卸,维护便捷,缩短设备停机时间。
  7. 支持自动化联控,带阀位检测开关,信号接入 PLC,适配全自动真空生产线。
  8. 可选 FKM 氟橡胶、Kalrez 全氟醚密封圈,适配不同耐腐蚀工况需求。

主要应用场景

  1. 半导体行业:工艺腔体管路隔断、刻蚀设备、等离子处理设备、真空机组隔离阀;
  2. 光学光电:PVD/CVD 镀膜机、溅射蒸镀设备、OLED/LCD 面板真空制程;
  3. 新能源锂电:材料真空处理、真空干燥、锂电实验真空腔体;
  4. 热处理行业:真空炉、钎焊炉、热处理真空管路通断隔离;
  5. 精细化工:真空合成、真空蒸馏、化工真空反应设备管路隔断;
  6. 科研实验:高校、研究院高真空实验平台;
  7. 设备备件:日系进口真空设备原厂替换备件。