产品定位

MIYUKI 美幸辉 G 系列属于高性能薄型真空气动闸阀（插板阀），定位中**工业真空隔断阀门，高于同品牌 L 经济型系列，面向频繁启闭、存在双向背压冲击的严苛洁净真空制程；通径覆盖 DN40‑DN500，适配常压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间，兼容 KF、CF、ISO、JIS 多种法兰标准，是半导体、镀膜、锂电、真空热处理产线的管路隔离主流选用阀件，可用于新设备配套以及日系进口真空设备备件替换。

核心技术和原理

1. 推力倍增 + 气缸气垫缓冲机构：侧向布置紧凑型气动气缸，关阀行程末端实现机械推力放大，压紧阀板；行程终点内置气动气垫缓冲，吸收闸板撞击冲击力，降低震动与微粒产生；支持双作用、单作用弹簧复位气缸结构，气源 0.4‑0.6MPa 压缩空气驱动完成阀门启闭。
2. 等间距球压多点密封技术：阀瓣采用滚珠均布压紧密封结构，实现阀座密封圈均匀受力，正向、反向背压工况均可维持可靠密封，耐受腔体破空、真空泵启停带来的反向压差冲击。
3. 真空钎焊内腔低释气工艺：阀体 SUS304 不锈钢抛光板材真空钎焊一体化成型，消除内腔死角，减少气体析出；产品在洁净室内完成装配、整机氦检漏，壳体漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s，阀座漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s。
4. 阀位信号反馈机制：配置微动 / 磁感应开关，输出开、关到位信号，可对接 PLC 系统，实现真空系统自动化联锁控制。

工作原理：洁净压缩空气驱动气缸带动闸板做直线运动；全开时管路大流通导通；关闭时推力倍增机构将阀板压紧阀座，切断真空管路气流，实现腔体、泵组之间隔离隔断。

产品优势与特点

1. 双向抗背压密封性能优异，可承受反向压差冲击，适配真空泵隔离、腔体破空等复杂工况，密封稳定性强。
2. 薄型紧凑机身，气缸侧向布局，相比同口径闸阀体积更小，节省设备内部安装空间，无安装姿态限制，卧式、立式均可装配。
3. 气垫缓冲启闭，降低撞击噪音、减少微粒生成，密封圈寿命长，适合高频次反复开闭工况。
4. 低放气洁净阀体，内腔无积气死角，洁净室组装氦检，满足洁净工艺制程要求。
5. 法兰规格齐全：KF (NW)、CF、ISO‑F、JIS 法兰可选，通径 DN40‑DN500，选型适配性强。
6. 模块化密封组件，密封件可单独更换，阀体无需整体拆卸，维护便捷，缩短设备停机时间。
7. 支持自动化联控，带阀位检测开关，信号接入 PLC，适配全自动真空生产线。
8. 可选 FKM 氟橡胶、Kalrez 全氟醚密封圈，适配不同耐腐蚀工况需求。

主要应用场景

1. 半导体行业：工艺腔体管路隔断、刻蚀设备、等离子处理设备、真空机组隔离阀；
2. 光学光电：PVD/CVD 镀膜机、溅射蒸镀设备、OLED/LCD 面板真空制程；
3. 新能源锂电：材料真空处理、真空干燥、锂电实验真空腔体；
4. 热处理行业：真空炉、钎焊炉、热处理真空管路通断隔离；
5. 精细化工：真空合成、真空蒸馏、化工真空反应设备管路隔断；
6. 科研实验：高校、研究院高真空实验平台；
7. 设备备件：日系进口真空设备原厂替换备件。