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MIYUKI美幸辉 L系列真空气动闸阀
产品型号:L-65
产品简介:

MIYUKI 美幸辉 L 系列为**高性价比薄型中大口径气动真空闸阀**,属于经济型直通插板式真空隔断阀。定位工业洁净高真空管路通断,兼顾低发尘、低放气、双向承压密封,面向半导体、光学镀膜、锂电新材料、真空热处理、科研实验等场景;相比**系列控制采购成本,阀体薄型轻量化,适配设备紧凑化集成,支持 JIS、ISO、CF 多种法兰接口,覆盖 DN65‑DN250 通径,是日系真空产线主流通用隔断阀门。

详细介绍

MIYUKI美幸辉 L系列真空气动闸阀

产品定位

MIYUKI 美幸辉 L 系列为高性价比薄型中大口径气动真空闸阀,属于经济型直通插板式真空隔断阀。定位工业洁净高真空管路通断,兼顾低发尘、低放气、双向承压密封,面向半导体、光学镀膜、锂电新材料、真空热处理、科研实验等场景;相比**系列控制采购成本,阀体薄型轻量化,适配设备紧凑化集成,支持 JIS、ISO、CF 多种法兰接口,覆盖 DN65‑DN250 通径,是日系真空产线主流通用隔断阀门。

核心技术和原理

  1. 球压式密封技术:阀座采用等间距球压压紧结构,闭合时均匀施加密封压力,正向、反向压差均可保持可靠密封,抗逆压性能优异。
  2. 低粉尘运动结构:阀板运行过程中,仅密封闭合瞬间阀板与阀座接触,其余运行阶段阀体不触碰壳体内壁,大幅减少微粒粉尘生成,满足洁净制程要求。
  3. 真空钎焊内腔工艺:SUS304 不锈钢阀体采用抛光板材真空钎焊成型,消除内腔死角,降低材料放气率,保障高真空环境稳定。
  4. 气动驱动工作原理:采用双作用气缸,由电磁阀切换气源气路(工作气源 0.4‑0.6MPa),带动阀板做直线滑移;阀门开启阀板脱离密封面,管路完全导通;阀门关闭阀板压紧密封面,阻断真空管路气流;可选配磁性接近开关输出阀位信号,对接 PLC 实现自动化联锁控制,适用压力区间常压~10⁻⁵Pa。

产品优势与特点

  1. 薄型轻量化阀体:轴向尺寸短,节省设备安装空间,阀体部分采用铝合金减重,便于狭小腔体布局集成。
  2. 低发尘洁净设计:非接触式运行结构,微粒析出少,适配镀膜、半导体等对洁净度要求高的工艺工况。
  3. 双向承压密封:球压密封机构,耐受正反压差,泵组隔离、破空、抽气工况均可稳定密封,漏率表现优异。
  4. 低放气内腔:内腔抛光 + 真空钎焊无死角构造,气体析出低,缩短腔体抽真空时间。
  5. 法兰接口丰富:支持 JIS、ISO‑F、CF 刀口法兰多种标准,满足不同设备对接需求。
  6. 自动化适配强:气动驱动,可选阀位反馈传感器,可接入 PLC 控制系统实现远程开关控制。
  7. 密封件可选升级:标配 FKM 氟橡胶密封,可升级 FFKM 全氟醚密封,适配溶剂、高温腐蚀工况。
  8. 维护便捷:密封组件模块化,更换密封圈无需整体拆卸阀体,缩短设备停机维护时间。
  9. 大通流设计:内部通流通道大,流导性能好,提升真空抽气效率。
  10. 高性价比:通用经济型定位,兼顾真空性能与成本,适合量产产线大规模配套使用。

主要应用场景

  1. 半导体行业:等离子处理腔体、辅助工艺腔体真空管路隔断,真空设备泵组隔离。
  2. 光学光电:蒸镀设备、溅射镀膜设备真空气路通断管控。
  3. 新能源锂电:电芯真空除气、材料干燥脱泡、元器件真空封装真空管路开关。
  4. 热处理工业:真空烧结炉、真空退火炉、真空烘箱腔体管路切断隔离。
  5. 科研实验室:高校研究院真空测试腔体、实验真空平台、大型真空设备气路控制。
  6. 化工新材料:真空反应釜、物料真空脱泡、高真空化工工艺管路隔断。
  7. 光伏显示:OLED、光伏器件真空制程管路通断。
  8. 通用工业真空设备:各类中大型真空腔体、真空存储容器管路开关控制。