MKS 722C01TGA2FJ 紧凑通用型电容式压力计

一、产品定位

MKS 722C01T 属于 722C 系列 Baratron 电容式压力计，是一款紧凑型、通用型绝压测量仪器，量程为 1 Torr。该产品定位为兼顾精度与成本的中流砥柱型真空测量解决方案，既适合老旧设备的升级替换，也适配新设备的集成设计。在半导体、镀膜及精细化工等对真空度控制要求严苛的领域，MKS Baratron 系列是行业内广泛认可的基准测量品牌，买家在设备选型和备件采购中对该品牌有较强的指定倾向。

二、核心技术与原理

722C01T 采用电容式薄膜传感技术。其核心是一片极薄的 Inconel 合金隔膜，一侧接触被测气体，另一侧为真空参考腔。当过程压力与参考腔存在压差时，隔膜发生微小形变，改变隔膜与后方电极之间的距离，进而引起电容值变化。内部电路将该电容变化转换为与压力成正比的 0-10 VDC 或 0-5 VDC 模拟信号输出。

由于测量基于隔膜的物理形变而非气体电离或热传导，其读数与被测气体的种类、成分无关，这是电容式压力计区别于皮拉尼计、电离规的核心优势。产品以真空为参考基准，实现绝压测量，响应时间小于 20 毫秒。

三、产品优势与特点

• 读数级精度：精度达读数的 0.5%（含非线性、迟滞和非重复性），在低量程段仍保持较高准确度，优于按满量程标称的同类产品。
• 全金属焊接结构：接气面仅暴露 Inconel 合金与不锈钢，耐腐蚀性强，适配腐蚀性工艺气体环境。
• 高抗过压能力：过压限值为 45 psia 或 2 倍满量程（取大者），爆破压力达 10 倍满量程或 100 psi，可承受管路压力尖峰而不影响零点重复性。
• 紧凑节省空间：体积小巧，便于在空间有限的设备腔体或管路上集成。
• 直接替换兼容：可作为多款早期 Baratron 型号的 "即插即用" 替代品，降低改造升级成本。
• 配置灵活：提供 VCR、KF、管接头等多种接口形式，以及 DB9、端子排等多种电气连接方式。
• 温漂特性好：零点温度系数低至 0.008% 满量程 /°C（10 Torr 以上量程），跨度温度系数 0.04% 读数 /°C。

四、主要应用场景

• 半导体制造：刻蚀（RIE、ICP、等离子刻蚀）、CVD、PVD、ALD、晶圆加工等工艺腔室的压力监测与闭环控制。
• 镀膜设备：光学镀膜、磁控溅射、蒸发镀膜、瓶子涂层等真空镀膜工艺的压力管理。
• 光伏与新能源：太阳能电池薄膜沉积、锂电池电极镀膜等生产线的真空测量。
• 工业化工：真空蒸馏、反应釜真空控制、精细化工分离提纯等过程。
• 科研与实验室：真空炉、气体激光器、表面分析设备、真空检漏系统等实验装置。
• 其他：汽车零部件真空测试、冷冻干燥、真空热处理、真空泵组配套监测等。