MKS 722C11TBA2FA 紧凑型通用绝压电容压力计

一、产品定位

MKS 722C11T 属于 MKS Baratron® 722C 系列紧凑型通用绝压电容压力计，其中11T 对应 10 Torr 满量程规格。该系列定位为工业级真空 / 压力测量的标准型传感器，兼顾精度与成本，适用于需要稳定、可重复压力监测的中低真空工况。其紧凑结构和多接口配置使其既适合新设备集成，也可作为早期 Baratron 型号的直接替换件，在半导体、真空镀膜、化工及科研设备中被广泛采用为原厂指定测量部件。

二、核心技术与原理

722C11T 采用Baratron® 电容式传感技术。核心结构为一片薄 Inconel® 金属隔膜，一侧接触被测气体，另一侧为密封真空参考腔。过程压力与参考腔之间的压差使隔膜产生微米级形变，改变隔膜与腔内固定电极之间的距离，从而引起电容值变化；内置电子线路将电容变化线性转换为 0–10 VDC（或 0–5 VDC）模拟信号输出。

该测量方式基于机械形变而非气体电离或热传导，因此测量结果与被测气体种类、成分无关，在腐蚀性气体、工艺气体切换或混合气体环境中仍能保持读数一致。产品以真空为参考基准，输出为绝压值；精度指标为读数的 0.5%（含非线性、迟滞和不重复性），响应时间小于 20 毫秒。

三、产品优势与特点

• 全金属全焊接结构：气体接触部分仅为 Inconel® 与不锈钢，耐腐蚀、低放气，适合腐蚀性工艺气体和高洁净环境。
• 强过压耐受：过压上限达 45 psia 或 2 倍满量程（取大者），爆破压力达 10 倍满量程或 100 psi，可承受管路压力尖峰而不影响零点重复性。
• 读数百分比精度：精度按实际读数百分比标定，在量程低端（低压段）仍保持较高分辨能力，优于满量程百分比型产品。
• 紧凑小巧：体积小、安装灵活，支持任意方向安装（不建议倒置），便于空间受限的设备改造和新设计集成。
• 配置灵活：提供 0.5 英寸管、VCR、KF16（NW16）等多种真空接口，以及 DB9、DB15、端子排等电气连接器，可直接替换多款早期 Baratron 型号。
• 宽压供电：13–32 VDC 供电，功耗低（≤10 mA），适配工业控制电源。
• 合规认证：符合 CE EMC 指令与 RoHS 要求。

四、主要应用场景

• 半导体制造：刻蚀机、CVD/PVD 腔体、离子注入、晶圆加工中的工艺压力监测与控制。
• 真空镀膜：光学镀膜、磁控溅射、蒸发镀膜、卷对卷镀膜设备的真空度测量。
• 光伏与新能源：太阳能电池镀膜、锂电池真空干燥 / 注液、氢能设备真空系统。
• 真空热处理与冶金：真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空蒸馏。
• 精细化工与制药：真空干燥、冷冻干燥（冻干）、减压蒸馏、高纯度气体输送管路。
• 科研与实验室：高校及研究所真空腔体、表面分析设备、气体激光器、等离子体实验、材料科学研究。
• 工业检漏与通用真空系统：密封件检漏、真空包装、汽车零部件真空测试、瓶体涂层等。