现货！！EBARA荏原 EV‑A10‑2S干式真空泵

产品定位

EV‑A10‑2S 属于 EV‑A 系列单相供电风冷多级罗茨干式粗抽真空泵，面向需要洁净无油真空的工业产线与科研实验室，适合频繁破真空、反复大气抽吸工况，可作为真空腔体预抽泵、分子泵前级泵使用，适配半导体、光伏光学、精细化工等对真空洁净度有要求的场景，仅需接入电源即可投入运行，无需冷却水配套。

核心技术与原理

采用五级非接触多级罗茨结构，电机驱动同步齿轮带动各级罗茨转子反向旋转，依靠泵腔容积变化完成气体逐级压缩输送，齿轮润滑腔与真空泵腔相互隔离，泵腔内部无润滑油，规避油气返流污染腔体；配备气镇阀结构，导入干燥介质，让水蒸气以气态排出泵体，减少泵腔内部冷凝结露；整机采用强制风冷散热，50Hz/60Hz 工况抽气表现保持一致；设备搭载信号接口，支持远程控制、故障报警输出，便于对接 PLC 系统。

产品优势与特点

1. 空冷结构，无需冷却水，设备布置灵活，减少管路配套投入；
2. 无油腔体设计，输出洁净真空，降低工艺腔体被油质污染的概率；
3. 机身紧凑，配置脚轮调平底座，方便移位与现场安装；
4. 低噪音运行，功耗表现平稳，适配车间、实验室多类环境；
5. 气镇开启后可处理大量水蒸气，适配含水汽工艺；
6. 单相 / 三相供电兼容，EV‑A10‑2S 为单相版本；具备 CE、SEMI‑S2、NRTL 相关认证；
7. 非接触转子，部件磨损程度低，主要消耗件仅进气过滤器，运维工作量较少

主要应用场景

半导体：Load‑lock 腔体预抽、等离子清洗设备、小型刻蚀设备粗抽、PVD/CVD 设备前级抽气； 镀膜行业：光学镀膜、磁控溅射设备预抽； 科研实验室：真空实验腔体、分析仪器、理化试验装置； 新能源光伏：光伏器件制备、锂电真空脱气、注液腔体预抽； 化工领域：精细化工真空干燥、溶剂脱除、工艺腔体粗抽； 通用工业：各类需要频繁复压‑抽真空的生产测试设备。

官方标称参数

• 额定电压（50/60Hz）：EV‑A10‑2S 单相 100‑230V，另有三相 200‑240V 版本
• 电压允许波动：±10%
• 电源容量：3.0kVA
• 排气速度：1000 L/min
• 极限压力（气镇开启）：3.0 Pa
• 水蒸气泵送能力：500 g/hr
• 吸气口 / 排气口口径：NW40
• 极限压力时功率概值：1.1 kW
• 冷却方式：空冷
• 整机质量概值：75 kg