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现货！！EBARA荏原 EV-PA500干式真空泵
属于风冷型无油干式前级真空泵，面向中小容积洁净真空工况，用于替换传统涡旋泵、油式真空泵，适配科研、半导体配套、光学光伏、精细化工等中小设备，作为分子泵、高真空腔体的前级粗抽设备，适配轻负荷工艺气体环境。
采用无齿轮多级罗茨结构，转子非接触式运转，依靠多级转子容积变化完成气体输送；整机无润滑油脂，内置气镇阀，可处理可凝性水汽；风冷散热，无需冷却水；搭载 RS485 通讯、报警输出、远程 I/O 控制单元，支持设备组网监控，50/60Hz 工况下抽气表现保持稳定。
半导体小型 Load‑lock 腔体、晶圆检测、等离子清洗、小型 PVD/MOCVD 配套前级；镀膜设备前级粗抽；科研实验室、扫描电镜、质谱仪、氦检漏仪配套；光学光伏小样测试；精细化工真空脱泡、真空干燥；新能源小样试验；分析仪器真空腔体；轻负荷通用工业真空作业；不适用于强腐蚀工艺气体工况。