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现货充足!!EBARA荏原 EV-PA250干式真空泵
产品型号:
产品简介:

小型轻量化便携式空冷干式无油真空泵,面向中小抽速真空需求,适配需要频繁移动、安装空间受限、无冷却水供给的工况,可配套检漏设备、分析仪器、中小型工艺设备,兼顾科研实验室与轻型工业制程,满足海外多电压现场使用需求,可替代涡旋泵、油式真空泵。

详细介绍

现货!!EBARA荏原 EV-PA250干式真空泵

产品定位

小型轻量化便携式空冷干式无油真空泵,面向中小抽速真空需求,适配需要频繁移动、安装空间受限、无冷却水供给的工况,可配套检漏设备、分析仪器、中小型工艺设备,兼顾科研实验室与轻型工业制程,满足海外多电压现场使用需求,可替代涡旋泵、油式真空泵。

核心技术与原理

采用多级非接触式密封转子结构,转子运转互不触碰,整机无油润滑;依靠风冷散热系统,内置驱动控制单元、气镇阀,50/60Hz 电网下抽气表现保持一致;非接触密封结构减少密封件损耗。

产品优势与特点

  1. 风冷结构,不需要冷却水,仅接入电源即可运行;支持单相 100‑230V 宽电压输入
  2. 机身紧凑轻便,配置搬运提手,便于移位布置
  3. 无油设计,避免油雾返流污染腔体;运转噪声偏低
  4. 非接触密封,密封件无需更换,拉长维护周期
  5. 适配 SEMI‑S2、CE、NRTL 相关标准,适配多地区现场
  6. 50Hz、60Hz 不同供电频率下抽气性能保持一致

主要应用场景

半导体设备预抽、镀膜配套、小型 CVD/PVD 设备、实验室分析仪器、质谱设备、检漏仪配套、光学光伏实验、精细化工小试、新能源研发、材料科研、表面分析设备、载荷锁腔体预抽、通用工业真空作业。

官方标称参数


  • 抽气速度:230 L/min(气镇开启 200 L/min)
  • 极限压力:0.5 Pa(气镇开启 2.0 Pa)*
  • 电源:单相 100‑230V,50/60Hz,电压允许波动 ±10%,电源容量 0.45kVA
  • 极限压力工况功率:0.24kW(气镇开启 0.38kW)
  • 冷却方式:空气冷却
  • 吸气口 / 排气口口径:NW25
  • 整机重量:16kg  * 气镇阀打开