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现货供应!EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵
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在真空设备、真空干燥、真空腔体、电子设备、半导体辅助设备以及实验室真空系统中,真空泵是整个真空系统的重要核心设备。对于需要频繁从大气压状态开始抽真空,同时又希望减少冷却水、润滑油等辅助条件的设备来说,空冷式干式真空泵具有较好的适配性。

详细介绍

现货供应!EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵


在真空设备、真空干燥、真空腔体、电子设备、半导体辅助设备以及实验室真空系统中,真空泵是整个真空系统的重要核心设备。对于需要频繁从大气压状态开始抽真空,同时又希望减少冷却水、润滑油等辅助条件的设备来说,空冷式干式真空泵具有较好的适配性。


目前我司有荏原EBARA EV-A10-2U干式真空泵现货,适合用于需要快速进行大气引き、粗真空抽气以及稳定运行的真空设备。EV-A10系列是荏原推出的小型空冷干式真空泵,官方资料显示其排气速度为1000 L/min,进气口和排气口均采用NW40连接形式,EV-A10-2U采用单相200~240V、50/60Hz电源。


EV-A10-2U的一大特点是不需要冷却水。传统部分真空泵在工作过程中需要配套冷却水系统,而EV-A10采用空冷方式,可以减少设备端的公用工程需求。对于实验室、小型真空设备以及空间有限的生产设备而言,仅需要配置相应电源即可进行使用,有利于简化设备整体结构。


同时,EV-A10属于干式真空泵,工作过程中不依赖泵腔润滑油参与抽气,因此适合对真空环境洁净度有要求的应用。对于真空干燥、电子元件加工、真空设备以及部分半导体辅助设备而言,减少油污染能够降低后续工艺维护压力。


从抽气特性来看,EV-A10系列尤其适合从大气压附近开始抽气的应用。官方将其定位为“大气引き”适用的小型空冷干式真空泵,在需要反复进行抽空、破真空、再次抽空的设备中具有较好的应用价值。


EV-A10-2U还可以用于真空腔体、Load Lock辅助系统、PVD相关设备、分析仪器以及传统湿式真空泵替代等应用。荏原公开资料中也列出了Load Lock、PVD系统、分析仪器以及替代湿式真空泵等应用方向。


主要产品特点:

  • 荏原EBARA品牌干式真空泵;
  • EV-A10-2U型号;
  • 排气速度约1000 L/min;
  • 空冷式设计;
  • 无油运行;
  • 无需冷却水;
  • NW40进气口;
  • NW40排气口;
  • 单相200~240V电源;
  • 适合大气压附近开始抽气;
  • 低噪声设计;
  • 适合小型真空设备及实验室设备;
  • 可用于真空干燥、真空腔体、PVD、Load Lock等应用。


目前EV-A10-2U有现货,适合设备厂家、真空设备集成商、实验室、半导体设备配套企业以及需要进行旧泵替换的客户。

如有EV-A10-2U选型、库存、交期、真空系统配套等需求,可以根据设备实际工况进一步确认。