欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > EBARA荏原
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
优势现货!EBARA荏原EV-A10-2U干式真空泵
产品型号:
产品简介:

荏原EV-A10-2U干式真空泵是小型真空系统、辅助真空系统以及需要频繁从大气压开始抽气的设备。

详细介绍

优势现货!EBARA荏原EV-A10-2U干式真空泵


采购真空泵时,很多用户首先会搜索具体型号和参数,例如:

EV-A10-2U排气速度是多少?

EV-A10-2U极限真空度是多少?

EV-A10-2U是什么接口?

EV-A10-2U需要冷却水吗?

EV-A10-2U可以用于真空干燥吗?

针对这些问题,下面对荏原EBARA EV-A10系列进行简单介绍。


一、EV-A10-2U属于什么真空泵?

荏原EV-A10是一款小型空冷式干式真空泵。

官方产品资料将其特点概括为:

  • 小型;
  • 空冷;
  • 无油;
  • 低噪声;
  • 大气压附近抽气性能较好;
  • 仅需要电源作为主要公用工程;
  • 可用于生产工厂、实验室以及研究室。

因此,EV-A10并不是大型半导体主真空系统使用的大型干泵,而是更加偏向于小型真空系统、辅助真空系统以及需要频繁从大气压开始抽气的设备。


二、EV-A10主要参数

根据荏原官方资料:

型号:EV-A10系列

*大排气速度:1000 L/min

大气压附近排气速度:800 L/min

极限压力:约1 Pa(Gas Ballast OFF条件)

进气口:NW40

排气口:NW40

冷却方式:空冷

水蒸气排气:500 g/h

额定电压:单相200~240V或三相200~240V等配置

不同具体型号的电源配置需要根据铭牌及订货型号确认。


三、1000L/min意味着什么?

1000 L/min是EV-A10的*大排气速度指标。

换算成常见单位,大约为:

60 m³/h。

但真空泵的实际抽气效果不能单纯按照*大排气速度判断。

因为随着压力下降,泵的实际抽气速度会发生变化。

EV-A10的一个特点就是在大气压附近具有较好的排气速度特性,因此特别适合需要反复进行“大气→真空”抽气的应用。


四、为什么EV-A10采用空冷?

传统部分真空泵需要使用冷却水控制运行温度。

如果设备本身没有冷却水条件,就需要额外配置水路。

EV-A10采用空冷结构,因此不需要冷却水。

对于:

实验室真空设备、小型生产设备、真空干燥设备、分析设备、真空腔体辅助系统

来说,可以减少外围设备配置。

荏原官方也明确表示EV-A10不需要冷却水,所需公用工程主要为电源。


五、为什么选择干式真空泵?

EV-A10属于干式真空泵,不使用泵油参与抽气。

对于部分电子、材料、真空干燥以及洁净设备,可以减少油污染相关问题。

荏原在真空干燥应用资料中也指出,其干式真空泵不使用油或水,可用于材料、化学品以及电子部品等干燥过程。


六、EV-A10-2U适合哪些应用?

主要可以关注:

真空干燥、真空烘箱、Load Lock、PVD设备、分析仪器、实验室真空系统、电子设备、材料处理设备以及传统湿式真空泵替换。

目前我司有荏原EV-A10-2U现货,欢迎有具体设备型号、真空参数或者替换需求的客户咨询。