现货！！EBARA荏原EV-A10-2U干式真空泵

半导体、电子制造以及精密材料设备中，经常需要配置多个不同功能的真空系统。

大型工艺真空腔体通常需要更高等级的真空系统，而在设备的辅助环节，例如Load Lock、预抽真空、设备腔体辅助抽气以及部分PVD系统中，则需要根据腔体容积、抽气时间和目标压力选择合适的真空泵。

荏原EBARA EV-A10就是一款可以用于这些辅助真空应用的小型空冷干式真空泵。

荏原官方资料明确将EV-A10的应用列为Load Lock、PVD Systems、Analytical Instruments以及替代Wet Pump等。

Load Lock为什么需要快速抽气？

Load Lock主要用于连接外部环境与真空工艺腔体。

当工件进入Load Lock之后，需要关闭腔体，再通过真空泵将内部压力降低到设备要求的范围。

完成工艺后，又需要破真空，再进行下一次工件转移。

因此Load Lock通常会反复经历：

大气 → 抽真空 → 保持 → 破真空 → 大气 → 再次抽真空。

这种工作方式对真空泵的大气压附近抽气能力提出了要求。

EV-A10官方产品定位本身就强调大气压附近的排气性能，因此适合关注这类应用。

EV-A10为什么适合设备辅助真空？

EV-A10采用空冷干式设计。

对于半导体和电子设备而言，设备设计通常需要综合考虑：

空间、噪声、洁净度、辅助公用工程以及维护便利性。

EV-A10不需要冷却水，能够减少一部分外围公用工程。

同时采用干式结构，可以避免传统油泵的油污染问题。

PVD设备应用

PVD是常见的真空薄膜沉积工艺。

在PVD设备中，不同腔体和不同工艺阶段可能需要不同的真空设备。

EV-A10并不是用于替代所有PVD主工艺真空泵，而是可以根据实际抽气要求用于部分辅助真空系统、预抽系统以及设备配套真空系统。

荏原官方资料已经明确将PVD Systems列为EV-A10应用之一。

分析仪器应用

部分分析仪器也需要稳定的真空环境。

相比需要水冷系统的大型真空泵，小型空冷干式泵可以减少外围系统配置。

EV-A10官方资料也将Analytical Instruments列为适用场景。

EV-A10-2U基本特点

• EBARA荏原品牌；
• EV-A10-2U型号；
• 干式真空泵；
• 空冷；
• 无油；
• *大排气速度1000 L/min；
• 大气压附近排气性能较好；
• NW40进气口；
• NW40排气口；
• 无需冷却水；
• 适合Load Lock；
• 可用于PVD辅助系统；
• 可用于分析仪器；
• 可用于部分湿式真空泵替换。

目前我司有EV-A10-2U现货，适合半导体设备、电子设备、真空设备厂家进行设备配套、维修或者备用泵采购。