长期现货!EBARA荏原EV-A10-2U干式真空泵
一、先看目标真空度
不同设备所需要的真空度完全不同。
例如:
普通真空吸附、真空包装和部分真空干燥设备可能主要工作在粗真空区域;
而PVD、半导体工艺腔体以及部分分析设备可能需要更高真空。
因此,选择真空泵首先要确认设备要求达到什么压力。
EV-A10官方资料显示,EV-A10极限压力可达到Pa级范围,但实际系统能够达到的*终压力还会受到腔体泄漏、管路、电磁阀、密封件、气体负荷等因素影响。
二、再看抽气速度
EV-A10*大排气速度为:
1000 L/min。
大约相当于:
60 m³/h。
但需要注意:
1000 L/min并不意味着任何设备都可以在固定时间内达到目标真空度。
实际抽气时间还与腔体容积、管路尺寸、阀门、过滤器以及气体负荷有关。
例如同样使用1000 L/min真空泵:
一个小型真空腔体和一个大型真空腔体达到目标压力所需要的时间可能完全不同。
三、接口尺寸也非常重要
EV-A10采用:
NW40进气口和NW40排气口。
如果设备原来的真空泵接口尺寸不同,就需要进一步考虑变径、真空波纹管、阀门以及管路配置。
如果管路过细,即使真空泵本身抽速很大,实际系统的有效抽气能力也可能受到限制。
因此真空泵选型不能只看泵本身的性能。
四、气体类型决定真空泵能不能用
这是很多设备选型时容易忽略的一点。
EV-A10官方定位为非反应性气体的一般真空应用。
如果设备抽取的是腐蚀性气体、可凝结蒸汽、大量溶剂或者特殊反应性气体,就不能简单按照普通真空泵进行选择,需要进一步确认泵的材料、气体负荷以及适用范围。
因此,在采购真空泵之前,*好把实际抽取气体告诉供应商。
五、冷却方式也需要考虑
EV-A10采用空冷。
相比需要冷却水的真空泵,空冷结构可以减少冷却水管路。
对于实验室、研发设备、小型自动化设备以及没有冷却水条件的设备,这一点比较方便。
荏原官方也将“无需冷却水”作为EV-A10的重要产品特点。
六、干式还是油式?
如果设备对油污染比较敏感,那么可以优先考虑干式真空泵。
EV-A10采用干式、无油结构。
荏原官方在真空干燥应用资料中明确强调,干式真空泵不使用油和水,可应用于化学、工业产品以及电子部品的真空干燥。
七、EV-A10-2U适合什么类型的客户?
如果您目前正在寻找:
1000 L/min级别空冷干式真空泵
或者:
NW40接口干式真空泵
或者:
Load Lock / PVD / 分析仪器 / 真空干燥设备用真空泵
可以关注荏原EV-A10系列。
目前我司有EV-A10-2U现货,可以用于新设备配套,也可以作为旧设备替换和备用真空泵。
采购时建议同时提供原泵型号、设备类型、目标真空度和工作气体,以便进行更准确的选型确认。