ULVAC爱发科 CR60B‑S多级罗茨干泵支持定制

CR60B‑S 为爱发科 CR‑VerB 系列空冷多级罗茨干式真空泵，单相供电版本，面向中低真空区间，适配需要无油洁净排气的工业设备、科研实验装置，可直接大气压启动，无需配置前级泵，兼顾抽速与设备紧凑性，适配中小规模生产及实验室工艺场景。

产品参数

*大排气速度：55m³/h（920L/min）；到达压力（气镇阀无气体）：≤3.0Pa；吸气口 KF40、排气口 KF40；电机额定功率 1.5kW；电源单相 200V；整机质量 48kg；冷却方式为空冷；气镇机构为选配组件；气镇启用状态*大水蒸气处理量＜500g/h；符合 CE、cTUVus 标准；吸入、排出*大压力均为大气压。

采用多级串联三叶罗茨转子结构，成对转子依靠同步齿轮反向等速旋转；转子之间、转子和气缸壳体保持微小间隙，非接触状态完成气体捕获、逐级压缩输送；泵排气腔内部不填充真空油，轴承、齿轮润滑处于独立腔室，依靠密封结构阻隔润滑油窜入泵腔；整机空冷散热，选配气镇组件可引入气体稀释水蒸气，降低水汽凝结风险，整机可以大气压直接启动完成抽真空作业。搭载 DC 密封电机，兼顾能耗表现与腔体气密表现。

1. 泵腔无油、转子非接触运转，支持长时间持续排气作业，减少腔体污染风险

5. 具备远程控制接口，便于集成到整套真空设备；取得 CE、cTUVus 国际认证；可配套消音器、橡胶脚垫等机身配件。

洁净气体、惰性气体抽真空；真空干燥工艺的水蒸气排出（需启用气镇组件）；溅射、蒸发镀膜设备；半导体工艺配套真空单元；光学光伏器件制备；实验室真空系统；精细化工真空脱气；部分 CVD、PVD 工艺前级抽气；科研院所真空实验装置。