ULVAC爱发科 CR60B‑S多级罗茨干泵原厂现货

CR60B‑S 为爱发科 CR Ver.B 系列空冷多级罗茨干式真空泵，面向中低真空工况，主打单相供电版本，适配工业产线、科研实验室，适合对真空洁净度有要求、现场缺少冷却水供给的场景，可直接大气压启动，作为镀膜、半导体工艺配套粗抽泵、真空干燥设备抽气主机使用，取得 CE、cTUVus 认证。

产品参数

采用多级串联三叶罗茨转子压缩结构，成对转子依靠同步齿轮反向等速旋转，转子之间、转子与气缸壳体维持微小间隙，非接触运转；气体逐级经过多级泵腔完成压缩，直接排向大气。泵腔内部无真空油，轴承、齿轮的润滑油脂隔离在独立腔室，依靠密封结构避免润滑油进入真空腔。选配气镇机构可引入气体，实现水蒸气排出作业。搭载 DC 密封电机，兼顾能耗表现、腔体气密与整机减重。

半导体行业：小型刻蚀设备、CVD、PVD 设备粗抽排气，MEMS 器件工艺排气。

镀膜行业：溅射、蒸镀、光学镀膜设备真空获取。

科研实验室：各类真空实验系统、样品真**处理。

光伏光学：光伏器件研发、光学元器件工艺排气。

工业及精细化工：真空干燥、洁净惰性气体抽排、物料脱气处理。