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ULVAC爱发科 CR60B‑S多级罗茨干泵现货
产品型号:
产品简介:

CR60B‑S 属于 CR Ver.B 系列空冷多级罗茨干式真空泵,单相电源版本,面向中低真空洁净排气工况,适配实验室、中小规模工业制程,可直接大气压启动,不需要搭配前级泵,适配对腔体无油污染有要求的真空系统,取得 CE、cTUVus 认证

详细介绍

ULVAC爱发科 CR60B‑S多级罗茨干泵原厂现货


产品定位

CR60B‑S 属于 CR Ver.B 系列空冷多级罗茨干式真空泵,单相电源版本,面向中低真空洁净排气工况,适配实验室、中小规模工业制程,可直接大气压启动,不需要搭配前级泵,适配对腔体无油污染有要求的真空系统,取得 CE、cTUVus 认证。


产品参数

  • *大排气速度:55 m³/h(920 L/min)
  • 到达压力:≤3.0 Pa(气镇阀无进气条件)
  • 电机额定功率:1.5 kW
  • 电源:单相 200V
  • 吸气口:KF40;排气口:KF40
  • 整机质量:48 kg
  • 冷却方式:空冷
  • 气镇机构:选配件;气镇开启*大水蒸气处理量<500 g/h
  • *大吸入 / 排出压力:大气压

  • 核心技术与原理

    采用多级串联三叶罗茨转子结构,同步齿轮驱动成对转子反向旋转,转子之间、转子与缸体保持微小间隙,非接触式运转;排气腔内部不填充真空油,润滑油脂隔离在齿轮轴承腔,依靠轴封阻隔油脂窜入泵腔。气体逐级经过多级泵腔压缩增压,直接排向大气,整机风冷散热,DC 密封电机提供驱动,可选配气镇组件处理水蒸气工况。


    产品优势与特点

  • 泵腔内部无油、转子缸体非接触,支持长时间连续排气运行
  • 空冷结构,不需要冷却水与氮气供给,降低运行配套投入。
  • DC 密封电机,兼顾能耗表现、腔体气密效果,控制整机重量。
  • 加装选装气镇机构,可完成水蒸气排出作业。
  • 具备远程控制接口,便于集成到成套设备;符合 CE、cTUVus 标准。


  • 主要应用场景

    洁净气体、惰性气体真空抽气;真空干燥水蒸气排出(需启用气镇);溅射、蒸发镀膜设备;科研实验室真空系统;部分半导体配套设备、光学光伏制程、精细化工真空工艺。