成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
全 国 服 务 电 话 13530227878
ULVAC爱发科 CR60B‑S多级罗茨干泵原厂现货
CR60B‑S 属于 CR Ver.B 系列空冷多级罗茨干式真空泵,单相电源版本,面向中低真空洁净排气工况,适配实验室、中小规模工业制程,可直接大气压启动,不需要搭配前级泵,适配对腔体无油污染有要求的真空系统,取得 CE、cTUVus 认证。
产品参数
采用多级串联三叶罗茨转子结构,同步齿轮驱动成对转子反向旋转,转子之间、转子与缸体保持微小间隙,非接触式运转;排气腔内部不填充真空油,润滑油脂隔离在齿轮轴承腔,依靠轴封阻隔油脂窜入泵腔。气体逐级经过多级泵腔压缩增压,直接排向大气,整机风冷散热,DC 密封电机提供驱动,可选配气镇组件处理水蒸气工况。