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深圳现货！！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

小型风冷无油多级罗茨干式真空泵，面向需要反复大气抽气的通用真空工况，适配半导体附属工序、新能源、镀膜、科研实验室、精细化工等场景，无需冷却水，仅接入电源即可运行，兼顾工厂量产与实验室研发环境
详细介绍

深圳现货！！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵


产品定位

小型风冷无油多级罗茨干式真空泵，面向需要反复大气抽气的通用真空工况，适配半导体附属工序、新能源、镀膜、科研实验室、精细化工等场景，无需冷却水，仅接入电源即可运行，兼顾工厂量产与实验室研发环境荏原製作所。

核心技术和原理

采用五级罗茨级联容积压缩结构，电机驱动同步齿轮带动各级罗茨转子反向旋转；气体逐级被泵腔容腔输送、压缩后排出泵体。配置气镇阀机构，引入干燥气体抑制水蒸气在泵腔内部冷凝。整机采用强制风冷散热，泵体接触气体区域无润滑油介入，实现无油抽气。

产品参数

  1. 额定电压 50/60Hz：单相 200‑240V
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：3kVA
  4. 抽气速率：1000L/min
  5. 到达压力（气镇开启）：3Pa
  6. 水蒸气排气能力：500g/hr
  7. 吸气口口径：NW40
  8. 排气口口径：NW40
  9. 到达压力状态下功耗：1.1kW
  10. 冷却方式：风冷
  11. 整机重量：75kg
  12. 50Hz/60Hz 频率下输出性能保持一致
  13. 合规认证：CE 标记、SEMI‑S2、NRTL

产品优势与特点

  1. 体积小巧，整机重量 75kg，安装占地小；
  2. 风冷结构，无需外接冷却水，仅需供电即可投入使用；
  3. 无油结构，规避油蒸汽带来的腔体污染；
  4. 大气压区间抽气表现良好，适合反复破真空‑抽真空循环作业；
  5. 运行噪音水平偏低；
  6. 50Hz、60Hz 不同供电频率，设备输出性能保持一致；
  7. 兼容单相供电，方便实验室、小型产线配电条件；
  8. 具备气镇处理水汽能力，适配含水汽工艺气体；
  9. 满足 SEMI‑S2 半导体相关规范，适配半导体配套设备使用环境。

主要应用场景

半导体设备粗抽、镀膜设备负载锁腔体抽气、PVD 工艺配套、等离子清洗、真空干燥、锂电池制造工序、实验室科研设备、光学光伏工艺、精细化工脱泡脱溶、质谱仪器配套、冷冻干燥、小型工业真空制程等。