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深圳大量现货！！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

EV‑A10‑2S 属于 EV‑A10 系列单相供电版本，带轴承氮气冲洗结构，为小型风冷无油干式真空泵，面向需要反复大气抽气的轻载真空工况，无需冷却水，仅需供电即可运行，适配半导体辅助制程、新能源、科研实验室、精细化工等中小腔体粗抽场景，可用于产线设备以及各类实验研究环境。
详细介绍

深圳大量现货！！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵


产品定位

EV‑A10‑2S 属于 EV‑A10 系列单相供电版本，带轴承氮气冲洗结构，为小型风冷无油干式真空泵，面向需要反复大气抽气的轻载真空工况，无需冷却水，仅需供电即可运行，适配半导体辅助制程、新能源、科研实验室、精细化工等中小腔体粗抽场景，可用于产线设备以及各类实验研究环境。

核心技术和原理

采用五级非接触罗茨级联压缩结构，电机驱动同步齿轮带动各级罗茨转子反向高速旋转，依靠泵腔容积变化完成气体输送；气体逐级被压缩后由排气口排出，多级串联实现压缩比提升。
配备气镇阀机构，向末级泵腔导入干燥气体，处理水蒸气，抑制泵腔内部水汽冷凝结露；EV‑A10‑2S 额外搭载轴承氮气冲洗通路，阻挡微量粉尘、轻度腐蚀性介质侵入轴承部位；整机强制风冷散热，不需要外接冷却水系统。

产品参数

  1. 额定电压 50/60Hz：单相 200‑240V
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：3kVA
  4. 抽气速率：1000L/min
  5. 到达压力（气镇开启）：3Pa
  6. 水蒸气排气能力：500g/hr
  7. 吸气口口径：NW40
  8. 排气口口径：NW40
  9. 到达压力状态下功耗：1.1kW
  10. 冷却方式：风冷
  11. 整机重量：75kg
  12. 50Hz/60Hz 频率下输出性能保持一致
  13. 合规认证：CE 标记、SEMI‑S2、NRTL

产品优势与特点

  1. 小型轻量化，强制风冷设计，不需要冷却水，现场只接电源即可使用，安装便捷
  2. 无油结构，气体通路不含润滑油，降低返油带来的腔体污染
  3. 大气压区间抽气表现良好，适配频繁破真空、反复大气抽吸工艺
  4. 运行噪音水平低，适配实验室、洁净车间环境
  5. 50Hz、60Hz 不同供电频率，设备输出性能维持不变
  6. EV‑A10‑2S 配置轴承氮气吹扫，耐受微量粉尘与弱腐蚀气体工况
  7. 具备 CE、SEMI‑S2、NRTL 行业相关认证，适配海外设备配套需求

主要应用场景

  • 半导体行业：Load‑lock 锁腔预抽、小型 PVD 镀膜粗抽、等离子清洗设备、晶圆检测分析设备粗抽（不适用重度刻蚀、CVD 强腐蚀主工艺）
  • 新能源锂电：极片真空干燥、电芯脱气、封装腔体预抽
  • 科研实验室：扫描电镜、质谱仪器、真空烧结腔体、手套箱、冷冻干燥设备
  • 光学光伏：光学元件真空清洗、小型镀膜腔体预抽
  • 精细化工与工业：真空干燥、溶剂脱泡、物料蒸馏脱气，轻腐蚀气体抽除