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现货库存！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

EV‑A10‑2S 属于 EV‑A10 系列单相供电风冷无油干式罗茨真空泵，面向需要反复大气抽气的轻载真空工况，作为粗抽、预抽泵使用，无需冷却水，适配工厂产线、科研实验室多类环境；‑2S 版本配置轴承氮气冲洗结构，可抵御微量粉尘、轻度腐蚀性气体，适配半导体研发设备、新能源、精细化工、光学光伏等轻腐蚀工艺场景。
详细介绍

现货库存！EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵


产品定位

EV‑A10‑2S 属于 EV‑A10 系列单相供电风冷无油干式罗茨真空泵，面向需要反复大气抽气的轻载真空工况，作为粗抽、预抽泵使用，无需冷却水，适配工厂产线、科研实验室多类环境；‑2S 版本配置轴承氮气冲洗结构，可抵御微量粉尘、轻度腐蚀性气体，适配半导体研发设备、新能源、精细化工、光学光伏等轻腐蚀工艺场景。

核心技术和原理

采用五级非接触罗茨级联压缩结构，电机驱动同步齿轮带动各级罗茨转子反向旋转，依靠泵腔容积变化完成气体输送，气体逐级压缩后由排气口排出；泵腔内部转子无接触摩擦，实现无油运行；配置气镇阀机构，引入隔离气体抑制水汽在泵腔冷凝；整机强制风冷散热，无需外接冷却水；‑2S 型号增加轴承氮气吹扫通路，阻隔工艺杂质侵入轴承组件，延长部件运行周期。

产品参数

  1. 额定电压 50/60Hz：单相 200‑240V
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：3kVA
  4. 抽气速率：1000L/min
  5. 到达压力（气镇开启）：3Pa
  6. 水蒸气排气能力：500g/hr
  7. 吸气口口径：NW40
  8. 排气口口径：NW40
  9. 到达压力状态下功耗：1.1kW
  10. 冷却方式：风冷
  11. 整机重量：75kg
  12. 50Hz/60Hz 频率下输出性能保持一致
  13. 合规认证：CE 标记、SEMI‑S2、NRTL

产品优势与特点

  1. 风冷结构，不需要冷却水，仅接入电源即可运行，安装布置灵活
  2. 无油结构，避免油蒸汽带来腔体污染
  3. 大气压区间抽气表现良好，适配频繁破真空、反复大气抽吸工况
  4. 运行噪音水平低，适合实验室室内环境
  5. 50Hz、60Hz 不同供电频率，设备输出性能保持一致
  6. ‑2S 机型轴承氮气冲洗，适配带微量粉尘、弱腐蚀气体工况
  7. 具备气镇功能，可处理含水蒸气工艺气体
  8. 满足 SEMI‑S2 半导体相关规范，适配半导体研发设备使用

主要应用场景

  • 半导体行业：Load‑lock 预抽锁腔、小型 PVD 设备粗抽、等离子清洗设备、晶圆检测腔体、研发型刻蚀 / CVD 设备预抽机组
  • 新能源锂电：电芯真空脱气、极片真空干燥、电池封装预抽
  • 科研实验室：质谱仪器、扫描电镜、真空烧结炉、冷冻干燥、手套箱腔体预抽
  • 光学光伏：光学元件真空清洗、小型镀膜腔体、光伏材料实验设备
  • 工业与精细化工：真空干燥、溶剂脱泡、蒸馏、物料脱气等轻腐蚀真空工艺