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优势现货~EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

属于小型风冷无油多级罗茨干式真空泵，适配反复大气抽气工况，无需冷却水，仅接入电源即可工作，面向半导体中小型设备、镀膜装备、科研实验室、新能源、精细化工等洁净轻负荷真空场景，可作为腔体预抽、前级抽气设备，兼顾工厂产线与实验室环境使用
详细介绍

优势现货~EBARA荏原 EV-A10-2U 干式真空泵


产品定位

属于小型风冷无油多级罗茨干式真空泵，适配反复大气抽气工况，无需冷却水，仅接入电源即可工作，面向半导体中小型设备、镀膜装备、科研实验室、新能源、精细化工等洁净轻负荷真空场景，可作为腔体预抽、前级抽气设备，兼顾工厂产线与实验室环境使用。

核心技术和原理

采用五级非接触式罗茨级联压缩结构。电机驱动同步齿轮带动各级罗茨转子反向旋转；气体由进气进入**级泵腔，转子将气体封闭于容腔，逐级输送压缩，*后由排气口排出。依靠腔体容积变化完成抽气作业；配备气镇机构，可处理一定量水蒸气；50Hz/60Hz 不同供电频率下输出性能保持一致。

产品参数

  1. 额定电压 50/60Hz：单相 200‑240V
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：3kVA
  4. 抽气速率：1000L/min
  5. 到达压力（气镇开启）：3Pa
  6. 水蒸气排气能力：500g/hr
  7. 吸气口口径：NW40
  8. 排气口口径：NW40
  9. 到达压力状态下功耗：1.1kW
  10. 冷却方式：风冷
  11. 整机重量：75kg
  12. 50Hz/60Hz 频率下输出性能保持一致
  13. 合规认证：CE 标记、SEMI‑S2、NRTL

产品优势与特点

  1. 小型轻量化，风冷结构，不依赖冷却水，现场只需接通电源即可部署
  2. 无油运行，输出洁净真空，规避油类介质带来的污染
  3. 大气压区间抽气表现良好，适配频繁大气复压‑抽真空循环工况
  4. 运行噪音偏低，适配实验室等对噪声较为敏感的场地
  5. 50/60Hz 电网环境下，设备输出性能保持相同水平
  6. 满足多项行业规范，便于对接海外设备产线
  7. 能耗表现良好，降低长期运行成本

主要应用场景

  • 半导体：Load‑lock 腔体预抽、后端封装检测设备、小型刻蚀、PVD/CVD 设备前级真空
  • 镀膜行业：溅射设备、光学镀膜腔体预抽
  • 科研实验室：分析仪器、质谱设备、真空炉、等离子清洗装置、高校科研腔体
  • 光伏光学：光学器件制程、光伏零部件真空处理
  • 新能源：锂电池真空干燥、脱气、注液配套真空单元
  • 精细化工：小型真空脱泡、真空干燥、物料真空置换
  • 工业通用：各类需要洁净无油真空、频繁大气抽排的中小型工业设备