产品定位

核心技术和原理

产品参数

1. 额定电压：单相 100‑230V，50/60Hz
2. 允许电压波动：±10%
3. 电源容量：0.45kVA
4. 抽气速率：230 (200) L/min
5. 极限压力：0.5 (2.0) Pa（* 括号为气镇开启状态）
6. 吸气口口径：NW25
7. 排气口口径：NW25
8. 极限压力下参考功率：0.24 (0.38) kW（* 括号为气镇开启状态）
9. 冷却方式：空冷
10. 整机重量：16kg
11. 支持 CE、SEMI‑S2、NRTL 合规认证

产品优势与特点

1. 空冷设计，仅需供电，无需冷却水；单相宽电压适配 100‑240V 电网
2. 机身小巧重量轻，带把手便于挪动，适配狭小安装空间
3. 无油结构，避免油蒸汽返流污染真空腔体
4. 非接触密封结构，密封件无需更换，拉长维护周期
5. 运转噪音偏低；50Hz/60Hz 不同电网下输出性能保持一致
6. 可支持远程监控控制接口，适配设备集成；具备气镇功能处理可凝蒸汽

主要应用场景