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现货充足！EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

小型便携风冷无油干式真空泵，面向轻负荷洁净抽气场景，可作为分子泵前级泵，适配设备集成、可移动检漏设备、需要反复搬迁的科研实验，替代涡旋泵、油旋片泵，兼顾洁净真空与便捷移动安装，支持 SEMI‑S2、CE、NRTL 标准适配，可用于海外设备配套。
详细介绍

现货充足！EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵


产品定位

小型便携风冷无油干式真空泵，面向轻负荷洁净抽气场景，可作为分子泵前级泵，适配设备集成、可移动检漏设备、需要反复搬迁的科研实验，替代涡旋泵、油旋片泵，兼顾洁净真空与便捷移动安装，支持 SEMI‑S2、CE、NRTL 标准适配，可用于海外设备配套。

核心技术和原理

采用无齿轮多级非接触罗茨结构，转子之间、转子与泵腔留有微小间隙，运转部件无物理接触，泵体内部不使用润滑油做密封介质；电机驱动成对罗茨转子反向旋转，逐级输送压缩气体完成抽气；标配气镇结构，可处理部分可凝性气体；密封结构无需更换密封件，拉长维护周期；整机风冷散热，不需要外接冷却水。

产品参数

  1. 额定电压：单相 100‑230V，50/60Hz
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：0.45kVA
  4. 抽气速率：230 (200) L/min
  5. 极限压力：0.5 (2.0) Pa（* 括号为气镇开启状态）
  6. 吸气口口径：NW25
  7. 排气口口径：NW25
  8. 极限压力下参考功率：0.24 (0.38) kW（* 括号为气镇开启状态）
  9. 冷却方式：空冷
  10. 整机重量：16kg
  11. 支持 CE、SEMI‑S2、NRTL 合规认证

产品优势与特点

  1. 无油结构，不会向真空侧发生油液返流
  2. 小型轻量化，带手提把手，便于搬运，狭小空间也可安置
  3. 仅需接入电源，无需冷却水配套
  4. 50Hz/60Hz 不同电网频率输出性能保持一致
  5. 运转部件非接触，密封件无需更换，拉长使用周期
  6. 运行噪音水平低
  7. 具备 CE 标记、SEMI‑S2、NRTL 适配能力，可用于海外项目
  8. 支持远程监控控制接口，便于设备集成

主要应用场景

半导体检测腔体前级抽气、镀膜配套粗抽、实验室科研腔体、分析仪器配套、便携式氦检漏设备、光学光伏设备、小型 CVD/PVD 设备前级、精细化工真空处理、等离子清洗设备、样品前处理真空系统、科研平台移动真空单元。