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深圳仓现货！！EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

荏原 EV‑PA250 为便携型空冷无油干式真空泵，面向需要频繁搬迁、安装空间受限的工况，仅接入市电即可运行，适配实验室、分析设备、半导体配套、光伏光学等多类中小体量真空需求场景。
详细介绍

深圳仓现货！！EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵


产品定位

荏原 EV‑PA250 为便携型空冷无油干式真空泵，面向需要频繁搬迁、安装空间受限的工况，仅接入市电即可运行，适配实验室、分析设备、半导体配套、光伏光学等多类中小体量真空需求场景。

核心技术和原理

采用旋转部件非接触式结构设计，无油干式抽气结构；依靠空气冷却，无需外接冷却水系统；50Hz/60Hz 不同供电频率下可以保持一致设备性能；支持宽幅单相交流输入，兼容 SEMI‑S2、CE、NRTL 相关规范要求。

产品参数

  1. 额定电压：单相 100‑230V，50/60Hz
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：0.45kVA
  4. 抽气速率：230 (200) L/min
  5. 极限压力：0.5 (2.0) Pa（* 括号为气镇开启状态）
  6. 吸气口口径：NW25
  7. 排气口口径：NW25
  8. 极限压力下参考功率：0.24 (0.38) kW（* 括号为气镇开启状态）
  9. 冷却方式：空冷
  10. 整机重量：16kg
  11. 支持 CE、SEMI‑S2、NRTL 合规认证

产品优势与特点

  1. 无油结构，不用更换密封件，设备服役周期长
  2. 体型小巧自重轻，便携把手设计，适合狭小安装位置
  3. 空冷设计，只需要供电，不用冷却水配套
  4. 适配单相 100‑240V 宽电压输入，场地适配性强
  5. 运行噪音水平低
  6. 50Hz、60Hz 工况设备表现保持一致
  7. 可匹配 CE、SEMI‑S2、NRTL 相关标准

主要应用场景

半导体后端制程、Load‑Lock 腔体、氦质谱检漏仪配套；SEM 扫描电镜、XPS、XRD、质谱仪、RGA 残气分析仪等分析仪器；小型 CVD/PVD 镀膜设备前级；科研实验室、可移动实验平台；光学光伏器件制备；精细化工小试；新能源电池研发测试。