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大量现货~EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵
产品型号：
产品简介：

属于轻量化便携式风冷无油干式罗茨真空泵，面向中小抽速洁净真空需求，作为分子泵前级泵、小型腔体粗抽泵；依托荏原半导体真空技术积累，适配可移动检漏设备、反复搬迁的科研实验装置、分析仪器、半导体小型辅机，适合安装空间受限的工况
详细介绍

大量现货~EBARA荏原 EV‑PA250 干式真空泵


产品定位

属于轻量化便携式风冷无油干式罗茨真空泵，面向中小抽速洁净真空需求，作为分子泵前级泵、小型腔体粗抽泵；依托荏原半导体真空技术积累，适配可移动检漏设备、反复搬迁的科研实验装置、分析仪器、半导体小型辅机，适合安装空间受限的工况。

核心技术和原理

为无齿轮多级罗茨容积式干泵，依靠电机同步控制取代传统齿轮传动；转子之间、转子与泵腔内壁保持微小间隙，运转部件采用非接触结构。
工作流程：转子旋转扩大泵腔容积吸入气体；转子闭合进气通道，气体在腔室内被逐级压缩；压力升至接近大气压后从排气口排出。
标配气镇阀，可通入干燥气体，缓解可凝性气体在泵腔内部凝结；整机风冷散热，无需冷却水供给。

产品参数

  1. 额定电压：单相 100‑230V，50/60Hz
  2. 允许电压波动：±10%
  3. 电源容量：0.45kVA
  4. 抽气速率：230 (200) L/min
  5. 极限压力：0.5 (2.0) Pa（* 括号为气镇开启状态）
  6. 吸气口口径：NW25
  7. 排气口口径：NW25
  8. 极限压力下参考功率：0.24 (0.38) kW（* 括号为气镇开启状态）
  9. 冷却方式：空冷
  10. 整机重量：16kg
  11. 支持 CE、SEMI‑S2、NRTL 合规认证

产品优势与特点

  1. 风冷结构，仅需供电即可运行，无需冷却水配套设施
  2. 单相宽电压 100‑230V，50Hz/60Hz 工况下输出性能保持一致
  3. 运转部件非接触结构，无需密封件更换，拉长维护周期
  4. 无油设计，避免油介质向真空侧返流污染腔体
  5. 整机小型轻量化，便于搬运，狭小空间也可布置
  6. 运行噪音偏低
  7. 支持 CE 标识、SEMI‑S2、NRTL 相关对应规格，适配海外设备配套
  8. 具备外部通讯接口，支持远程监控与操控

主要应用场景

  • 科研实验室：各类分析仪器、扫描电镜、质谱设备、残气分析仪 RGA、表面分析设备
  • 半导体配套：小型 Load‑Lock 腔室、小型刻蚀 / 镀膜设备前级粗抽、氦质谱检漏仪配套主机
  • 薄膜工艺：小型 PVD、CVD、溅射镀膜设备前级真空供给
  • 光伏光学：小型光伏试验腔体、光学镀膜研发装置
  • 精细化工：小型真空干燥、物料脱气实验
  • 移动设备：可搬式检漏系统、需要频繁移位的试验平台