欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > NPM日脉
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
NPM日脉 标准型磁轴式线性伺服电机
产品型号:S320Q
产品简介:

NPM 日脉 S320 系列为磁轴式线性伺服电机(轴式直线电机),面向精密自动化设备的直线运动单元,用于替换滚珠丝杠模组、普通平板直线电机、气动执行机构,适配半导体、光伏、科研实验室等精密位移场景。

详细介绍

NPM日脉 标准型磁轴式线性伺服电机


产品定位

NPM 日脉 S320 系列为磁轴式线性伺服电机(轴式直线电机),面向精密自动化设备的直线运动单元,用于替换滚珠丝杠模组、普通平板直线电机、气动执行机构,适配半导体、光伏、科研实验室等精密位移场景。

核心技术和原理

基于无铁芯直线伺服原理,中空磁轴内置永磁体,通电动子线圈产生电磁推力,动子沿磁轴做无接触直线往复运动;无齿槽结构,运动间隙容错范围大,推力沿行程保持稳定。

产品参数

  • 轴径:32±0.2mm
  • *大行程:2000mm
  • S320D:额定推力 56N,加速推力 226N,额定电流 1.2Arms,加速电流 5.0Arms
  • S320T:额定推力 85N,加速推力 338N,额定电流 1.2Arms,加速电流 5.0Arms
  • S320Q:额定推力 113N,加速推力 451N,额定电流 1.2Arms,加速电流 5.0Arms
  • S320X:额定推力 226N,加速推力 902N,额定电流 1.2Arms,加速电流 5.0Arms
  • 工作环境参考:室温 20℃条件下标定参数

产品优势与特点

无齿槽效应,运动平顺;无接触传动,减少维护频次;结构紧凑,便于设备集成;允许较大气隙,安装调试难度低;推力输出稳定,支持高速高加速运动;可多动子在同一根磁轴上独立运动。

主要应用场景

  • 半导体行业:晶圆微调机构、小型探针台位移模组、芯片分选移栽、镀膜工位进给、CVD/PVD 设备配套微调机构
  • 光学光伏:光路调整滑台、光伏检测平台、显微载物台、激光加工进给机构
  • 科研实验室:理化实验位移台、检测设备进给装置
  • 新能源:电芯检测微型滑台、电池装配工位机构
  • 精细化工、工业设备:化工分析仪器直线执行部件,洁净工艺装备位移单元
  • 工业自动化设备:紧凑型多工位精密移栽机构