2）ESR 系列（紧凑型节能，轻腐蚀 / 通用）

• 定位：中低端刻蚀、离子注入、辅助真空、科研
• 代表：ESR20N / 30N / 50N
• 抽速：500–5,000 L/min
• 极限真空：≤5 Pa
• 特点：小型占地、低功耗、可选耐蚀材质、50/60Hz 通用

3）EV‑M 系列（中大型主力，强腐蚀 / 量产线）

• 定位：半导体刻蚀、CVD、灰化、离子注入、SiC 产线
• 代表：EV‑M20N / M102N / M202N / M502N
• 抽速：1,800–50,000 L/min
• 极限真空：≤5 Pa
• 特点：强耐氟 / 氯腐蚀、水冷稳定、抗副产物沉积、长维护周期

4）EV‑L 系列（新一代高能效，重载 / 高腐蚀）

• 定位：** CVD、ALD、外延、3D NAND/DRAM
• 特点：比 EV‑M 再节能 20%、更高耐蚀、更低 TCO

5）ESA 系列（超大流量，Load‑Lock/MO‑CVD）

• 定位：大型 Load‑Lock、MO‑CVD、LCD 溅射、光伏
• 代表：ESA70W / 100W / 200W / 500W / 700W
• 抽速：7,000–80,000 L/min
• 特点：大流量、轻气体（H₂/He）高效、耐蚀铸铁、N₂吹扫标配

四、荏原干泵 六大核心技术优势（半导体*看重）

✅ 1）**耐腐蚀性（氟 / 氯 / 氨气）

• 接触气体材质：NiResist 耐蚀铸铁 + 特种涂层
• 耐受：HF、HCl、Cl₂、NH₃、SiH₄ 等强腐蚀气体
• 优势：比国产泵寿命长 3–5 倍，比爱发科耐蚀更强

✅ 2）低能耗 + 怠速 / 休眠（省电 30%+）

• 转子优化 + 变频控制：同级别*省电
• 空载自动怠速 / 休眠：待机功耗≈0.1kW
• 半导体 Fab 年省电数十万度

✅ 3）高水汽容忍（不怕水，良率稳）

• **结构 + 气镇设计：风冷干泵中除水*强
• 耐受100%RH，适合氧化 / 扩散 / 湿法后制程

✅ 4）低振动 + 低噪音（洁净室友好）

• 无接触转子 + 精密动平衡：振动≤0.1mm，噪音≤60dB
• 适合SEM、量测机台、高精度制程

✅ 5）长维护周期（1–2 年免修）

• 无油、无密封件消耗：正常使用 1–2 年无需拆修
• 维护成本：比油旋片泵低 80%

✅ 6）全球 20 万 + 台实绩 + 深圳强售后

• 半导体市占：全球前三、中国区**
• 深圳有荏原中国 + **代理（玉崎半导体），24h 响应、48h 到场

五、典型应用场景（深圳半导体 Fab 全覆盖）

• ✅ 刻蚀（Etch）：EV‑M/EV‑L（强腐蚀、长寿命）
• ✅ CVD/ALD：EV‑L/ESA（大流量、高洁净）
• ✅ Load‑Lock：EV‑SA/ESA（快速抽气、低振动）
• ✅ 外延（Epi）：EV‑L（高温、高腐蚀）
• ✅ 分析仪器（SEM/LC‑MS）：EV‑SA（小型、洁净）
• ✅ 面板 / 光伏：ESA（超大流量、高速粗抽）

六、荏原 vs 爱德华 vs 爱发科（深圳选型必看）

• 荏原 EBARA：耐蚀*强、性价比*高、售后*好；适合刻蚀 / CVD / 国产线
• 爱德华 Edwards：品牌*强、稳定性好、价格贵；适合** Fab / 苹果 / 英伟达供应链
• 爱发科 ULVAC：价格低、耐蚀一般、寿命短；适合低端制程 / 实验室

七、一句话总结（深圳半导体圈）