现货！ULVAC爱发科 LS300A 螺杆型干式真空泵
在半导体制造、真空镀膜、锂电干燥及一般工业应用中，传统油封式真空泵长期存在油雾污染、换油频繁、运行成本高等痛点。日本ULVAC（爱发科）推出的 LS300A 螺杆型干式真空泵，凭借无油洁净、高速排气、低功耗等优势，为中**真空工艺提供了可靠的解决方案。
一、产品概述
LS300A 归属 ULVAC LS系列螺杆型干泵，该系列通过**的螺杆转子型线与节能技术融合，实现了高速排气与低功耗的兼顾。LS300A 作为该系列的中坚型号，排气速度达 380 m³/h，极限压力可至 ≤0.1 Pa，适用于对洁净度与抽速均有要求的工业场景。
二、核心技术优势
1. 高速排气，缩短工艺周期
LS300A 在接近大气压区域的排气速度*高可达 80 m³/h，与传统真空泵相比，抽气时间可缩短约 20%，显著提升产线效率。
2. 低功耗运行，降低用电成本
C规格标配爱发科独有的 ECO-SHOCK 节能技术，极限压力下的消耗电量可降至 1.0 kW 以下，大幅降低长期运行的电力开支。
3. 完全无油，洁净无污染
采用螺杆转子非接触式设计，泵腔内无需润滑油，从根源上杜绝了油雾排放与回流污染，特别适合对洁净度要求高的镀膜、溅射等工艺。同时无需轴封气体，进一步降低了运行成本。
4. 低噪音设计，改善工作环境
标配专用消音器，极限压力运行时噪音值控制在 61 dB(A) 以下，解决了传统干泵噪音大的问题，适合对环境噪音有要求的车间。
5. 可扩展性强
若需更高抽速，可搭配机械增压泵组合使用，排气速度可扩展至 120～1200 m³/h，灵活适配不同规模的真空系统。
三、主要技术参数（LS300A）
四、典型应用领域
C规格（洁净工艺型）
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溅射/镀膜设备
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贴合/Load lock 室
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TMP（涡轮分子泵）辅助排气
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半导体制造中的惰性气体排气
L规格（轻工艺型）
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真空干燥/冷冻干燥
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灰化工艺
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水蒸气及挥发性的药液排气
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一般工业用途
五、使用与维护建议
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冷却水要求：确保冷却水流量 >4.0 L/min，定期清理水路水垢，防止因散热**导致过热停机。
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日常巡检：每班核查真空度、排气温度、电机温升及有无异常振动，记录运行参数。
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定期维保：运行2000小时更换进气滤芯，4000小时检查轴封密封状态，8000小时更换同步齿轮箱润滑油。
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避免吸入：请勿吸入腐蚀性气体、液体及大量粉尘，以免影响泵体寿命。
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