在半导体制造、平板显示（FPD）及**化工工艺中，真空环境的洁净度与稳定性直接决定了产品良率。传统油润滑真空泵存在油雾污染风险，且难以处理CVD、蚀刻等工艺产生的升华性副产物。ULVAC爱发科HR300多级罗茨干泵，正是为应对这一挑战而设计的中型量产级解决方案。
一、核心技术：无油洁净与高温均热化
HR300属于爱发科HR系列，是一款多级罗茨式干式真空泵。其核心在于真空室内完全无油，通过两个三叶转子在壳体内反向旋转来输送和压缩气体。转子之间、转子与壳体之间保持精密间隙，不接触，配合多级结构将气体逐级压缩至大气压排出。
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高温区域均热化：泵体通过设计实现全域恒温，利用转子压缩热将CVD、蚀刻等工艺中产生的升华性排气物质（如硅化物、金属沉积物）保持为气体状态排出，避免其在泵内冷凝结块，从而保障长期稳定运行。
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出色的耐腐蚀性：主要过流部件采用高硬度、高耐腐蚀性的特殊表面处理，能有效抵御含氟、氯等弱腐蚀性气体的侵蚀，延长泵的使用寿命。
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氦气密封与屏蔽电机：搭载屏蔽电动机形成完全密闭结构，杜绝了外部泄漏风险，**性极高。
二、关键性能参数
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标称抽速：300 m³/h（50Hz）/ 365 m³/h（60Hz）
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极限压力：可达5 Pa（0.67 Pa@60Hz）
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工作压力范围：1 Pa ~ 大气压，支持全区间连续稳定运行
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吸气/排气口：VG80 (KF80) / KF40
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电源：三相 AC200V/220V 50/60Hz
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冷却方式：水冷循环
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整机重量：约275 kg
三、智能运维与**特性
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瞬停对策：具备1000毫秒以内的瞬停保护功能，在电网波动时能有效保护泵体与工艺**。
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通信功能：支持RS485工业通讯，可实时读取泵的运转状态数据、警告及报警履历，便于集成到中央监控系统，实现预防性维护。
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可调氮气吹扫：标配氮气吹扫功能，可进一步防止工艺粉尘或腐蚀性气体在密封部位积聚。
四、典型应用场景
HR300凭借其300m³/h的抽速和优异的防腐、耐高温性能，成为8英寸半导体单腔体量产设备、中型CVD/ALD产线的理想前级泵选择。
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半导体制造：CVD装置、蚀刻装置、灰化装置
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先进封装与显示：ALD（原子层沉积）、ALH设备
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其他工业领域：适用于需要处理少量腐蚀性气体或粉尘的化工、能源及科研实验场景。
五、选型建议
对于常规量产中的腐蚀工艺，HR300是标准主力机型。若工况对温度要求更高或腐蚀性强，可考虑同平台的UR300（高温重载强腐蚀款）；若为低温洁净工艺，则LR300更为合适。
ULVAC爱发科HR300多级罗茨干泵，以无油洁净、高温抗沉积、智能通讯为核心优势，为中**制程提供了可靠、高效的真空获取方案，是提升产线良率与降低维护成本的关键设备。
