现货！ULVAC爱发科 LR180 多级罗茨型干泵
在半导体、光伏、FPD等**制造领域，PVD工艺及负载锁室的排气效率直接影响产线吞吐量。传统干泵在低温工况下易出现可凝性气体凝结，导致泵体腐蚀、抽速衰减。ULVAC爱发科 LR180 多级罗茨型干泵，凭借低温区域均热化技术，为快速排气与洁净真空提供了可靠解决方案。
核心技术：低温均热化设计
LR180 的核心优势在于低温区域泵体均热化技术。通过优化的泵体热平衡设计，使泵内温度分布均匀，避免可凝性废气在泵内凝结沉积，从而减少腐蚀、维持稳定的抽气性能。这一特性使其在 PVD 工艺及负载锁室排气场景中表现尤为出色，能显著缩短抽气时间，提升产能。
产品亮点
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氦气密封结构：搭载屏蔽电动机形成全密闭结构，杜绝外部泄漏，**性高。
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瞬停保护：具备 1000ms 以内的瞬时停止对策，有效应对突发断电等异常工况。
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优异耐腐蚀性：主要零部件采用高硬度、高耐腐蚀的特殊表面处理，降低腐蚀性气体对泵内部的侵蚀。
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智能通信功能：支持读取泵运行状态、警告/报警履历数据，可通过专用软件实现集中监控与预测性维护。
主要技术参数
典型应用场景
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成膜装置：溅射设备、蒸镀设备等 PVD 工艺抽真空。
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负载锁室：大幅缩短备料/下料室的排气时间，提升产线节拍。
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辅助排气：作为涡轮分子泵、机械增压泵的前级辅助排气泵。
选型建议
LR 系列专为 PVD 及负载锁室等清洁工艺设计，若用于 CVD、刻蚀等高温工艺场景，建议优先选择 HR 系列。LR180 作为中抽速型号，适合中等规模的镀膜产线及实验室设备配套。
