EBARA 荏原 EV-A10-2S 干式真空泵，这款为单相供电风冷型无油干泵，依托五级非接触罗茨转子结构，专为洁净真空工况设计，广泛适配化工、锂电、半导体、实验室分析等领域，是分子泵前级抽气、腔体预抽的优选设备。

核心特点

1. 无油洁净设计：泵腔内部无润滑油，转子非接触运转，杜绝油气返流污染真空腔体，产出无油洁净真空，满足高洁净工艺要求。
2. 风冷免水冷结构：整机强制风冷散热，无需外接冷却水管道，消除漏水隐患，现场仅需接通电源即可投入使用，安装便捷，实现即插即用。
3. 内置气镇阀：可开启气镇处理工艺水汽，水蒸气处理量可达 500g/h，适配含水、含溶剂蒸汽工况；50Hz/60Hz 工况下抽速保持稳定，变频驱动启停平稳，功耗更低。
4. **可靠，易集成：配备过热、过载保护系统，具备远程 I/O 报警输出，可直接接入 PLC 控制系统；整机自带可锁脚轮与调平底座，方便移位与固定，噪音≤58dB (A)，运行噪音低。
5. 维护成本低：转子无接触几乎无磨损，常规工况下长周期免维护，仅需定期更换进气过滤器，降低长期运维投入，拥有**的全生命周期成本。产品满足 SEMI-S2、CE、NRTL 相关标准，洁净车间使用合规性强。

核心参数（主流型号速览）

项目	EV-A10-2S
泵类型	五级罗茨干式真空泵
*大抽速	1000L/min
极限真空（气镇关闭）	1.0Pa
电源规格	单相 AC200-240V
电源容量	3.0kVA，极限真空运行功率 1.1kW
冷却方式	强制风冷
进气法兰	NW40
整机重量	75kg
外形尺寸	317×544×344mm
噪音	≤58dB(A)

典型应用

半导体行业：Load-Lock 腔体预抽、等离子清洗、镀膜设备前级真空； 锂电新能源：锂电池生产真空干燥、真空封装工艺； 化工行业：溶剂脱除、真空蒸馏、实验室小型负压反应、冷冻干燥； 仪器分析领域：质谱仪、扫描电镜、各类理化分析仪器前级真空； 通用真空：小型镀膜、真空测试、检漏系统等洁净负压场景。

注：该机型不适合强腐蚀性工艺气体，强腐蚀工况可选配吹扫组件。

选型对比

1. 对比油回转真空泵：EV-A10-2S 无油，无返油污染，无需频繁更换真空泵油，无废油处理，适合洁净工艺；油回转泵价格更低，但存在油污染风险，维护频次高，仅适合对洁净度无要求的普通工况。
2. 对比水冷型多级罗茨干泵：EV-A10-2S 风冷设计，省去水冷管路、循环水机组，占地更小，改造简单；水冷机型抽速上限更高，但需要配套冷却水系统，项目基建成本更高。
3. 对比涡旋干泵：EV-A10-2S 抽速更大，长周期稳定性更强，适合连续生产；涡旋泵体积更小，但密封件磨损快，需要定期更换密封片，适合间歇、小抽速实验室场景。