EBARA 荏原 EV-PA250 小型风冷干式真空泵，该款产品为无油干式真空泵，主打洁净真空、低维护、轻量化设计，适配实验室、分析仪器、半导体后端等中小流量真空工况，可替代传统油式真空泵与涡旋干泵，降低设备运维成本，满足化工、科研、精密制造行业对洁净无油真空环境的使用需求。

核心特点

EV-PA250 采用无齿轮、非接触转子结构，整机无油运行，不存在油蒸汽返流污染真空腔体的问题，保障真空环境洁净。采用强制风冷设计，无需外接冷却水，省去水冷管路配套，消除漏水隐患，台式、无尘室内均可直接摆放安装。产品配备内置气镇阀，可处理一定量水蒸气，拓展工况适应性；整机重量轻，自带便携提手，移动安装便捷。支持单相宽电压供电 AC100-230V，国内 220V 市电可直接使用，无需三相电源。设备运行噪音低，标配面板状态指示灯，具备远程启停、故障报警输出功能，可选 RS485 通讯模块接入 PLC 实现远程监控，拥有 CE、SEMI-S2、NRTL 认证，可满足国内外精密设备配套标准。非接触式密封结构，密封件无需定期更换，大幅延长平均无故障运行时间，长期使用维护工作量低。

核心参数（主流型号速览）

典型应用

半导体行业：小型 Load-lock 腔体、晶圆检测设备、后端封装工艺前级真空； 科研与分析仪器：扫描电镜 SEM、质谱仪、氦检漏仪、X 射线分析设备配套前级泵； 化工与新材料：实验室真空脱泡、样品干燥、小型真空腔体、锂电池注液与干燥工序； 其他领域：食品医药冻干、真空覆膜、小型等离子清洗设备、高校科研实验室真空系统。

选型对比

EV-PA250 属于 EV-PA 系列中小流量机型，适合抽气需求 200L/min 级别、空间有限、无法提供冷却水的工况。对比 EV-PA500，EV-PA250 体积更小、重量更轻，功耗更低，适合小腔体间歇抽真空场景；EV-PA500 抽速更大，适合腔体容积更大、需要更高抽速的设备。对比传统油回转真空泵，EV-PA250 无油无污染，无需定期更换真空泵油，运维成本更低；对比涡旋干泵，荏原 EV-PA 系列无齿轮结构，寿命更长，密封件免维护，长期运行稳定性更强。本机型适合洁净、轻度水汽工况，不适用于强腐蚀、大量粉尘工艺气体，若处理腐蚀性气体，可配套氮气吹扫套件使用。