ULVAC爱发科MS120A/MS600A/MS1200A螺杆式干式真空泵
一、系列概述
ULVAC爱发科MS120A、MS600A、MS1200A螺杆式干式真空泵，是日本爱发科（ULVAC）旗下核心工业级无油真空设备，采用双螺杆啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、锂电池、制药等对洁净度要求极高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借运行稳定、噪音低、耐腐蚀、抽速范围广的优势，广泛应用于半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、太阳能电池片生产、锂电池制造、化工蒸馏和干燥、制药冻干、食品真空处理等多种工业场景，其中MS120A为小型机型，MS600A为中型机型，MS1200A为大型机型，可根据工况流量需求灵活选型。
MS系列整体采用高效节能电机，适配洁净环境与腐蚀性工况，部分型号可定制防爆、防腐升级，满足危险工况与腐蚀气体处理需求，其螺杆与泵腔无接触摩擦，磨损小、使用寿命长，维护便捷，是现代工业洁净真空系统的核心配套设备，在光伏和锂电池制造领域的真空设备供应中占据重要位置。
二、全型号核心参数速查（50Hz 工频，标准工况）
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型号
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公称抽速（m³/h）
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极限真空（Pa）
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电机功率（kW）
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冷却方式
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*大连续进气压力（mbar）
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适配工况类型
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MS120A
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120
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≤1.0×10⁻²
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2.2
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风冷
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1013
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小型洁净工况、实验室配套
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MS600A
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600
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≤5.0×10⁻³
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7.5
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风冷/水冷可选
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1013
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中型工业工况、锂电池脱气
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MS1200A
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1200
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≤5.0×10⁻³
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15
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水冷
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1013
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大型工业工况、半导体制造
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注：1. 60Hz工况下，抽速提升约20%，适配海外电压（208-230V/460V），电压 tolerance±10%；2. 全系列标配三相异步电机，可定制防爆电机（Exd II BT4），适配易燃易爆工况；3. 极限真空为常温、洁净空气工况下测试值，无需搭配前级泵，单独运行即可达到该真空度；4. MS600A水冷版本需确保冷却系统正常工作，避免泵体过热；5. 电机均配备过热、过载、缺相保护，符合IEC 34-11标准，运行**可靠。
三、安装&外形关键尺寸（分型号精简版）
1. 小型风冷型（MS120A）
• 整体尺寸（长×宽×高）：约 780×520×650 mm
• 地脚安装孔：横向500mm、纵向300mm
• 安装要求：硬质水平地面，加装减震垫，四周预留≥150mm散热维护空间，人工可直接搬运，无需专用起重设备；进气口需加装高精度过滤器，防止粉尘、杂质进入泵腔，避免螺杆磨损。
2. 中型风冷/水冷型（MS600A）
• 整体尺寸（长×宽×高）：约 1050×680×820 mm
• 地脚安装孔：横向680mm、纵向420mm
• 安装要求：硬质水平混凝土地面，加装高强度减震垫，四周预留≥250mm散热维护空间；风冷版本需保证通风良好，水冷版本需单独连接冷却水路，冷却水温度5-30℃，水压0.2-0.4MPa；可借助小型起重设备辅助搬运，连接管路需加装支架，避免管路重量压迫泵体接口。
3. 大型水冷型（MS1200A）
• 整体尺寸（长×宽×高）：约 1350×850×1050 mm
• 地脚安装孔：横向850mm、纵向500mm
• 安装要求：重型混凝土地面，加装专用减震装置，四周预留≥350mm散热维护空间，需小型起重设备辅助安装、定位；水冷系统需单独连接，冷却水温度控制在5-30℃，水压0.3-0.5MPa，冷却水量≥5L/min；安装现场需预留检修空间，便于后期维护。
全系列通用安装要求
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MS系列为螺杆式干式真空泵，可单独启动运行，无需搭配前级泵；启动前需检查电源电压、冷却系统（水冷机型）、管路连接情况，确认无误后再启动，避免泵体损坏；系统建议配备压力开关或压力传感器，实时监控真空度。
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安装需水平，倾斜角度≤2°，用水平仪校准，防止螺杆运行偏移，导致磨损、噪音增大；连接管路时，需确保泵体不承受管路张力或应力，避免泵壳变形。
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管路连接：进出口管路需与泵体法兰规格匹配，使用专用密封垫（建议采用氟橡胶密封垫），连接后进行检漏保压测试，避免漏气影响真空度；连接管路长度≤3m，管径不小于泵体进出口管径，腐蚀性工况需选用耐腐蚀管路。
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接线要求：严格按照电机额定电压（三相380-415V/50Hz）接线，确认电机正反转（反转会导致泵体螺杆碰撞损坏），建议加装过载保护、缺相保护、漏电保护装置，确保用电**。
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安装环境：远离高温、潮湿、腐蚀性气体，避免阳光直射，环境温度控制在5-40℃，相对湿度≤90%（无结露）；洁净环境安装时，需做好泵体密封防护，避免粉尘进入电机及泵腔；易燃易爆工况需确保防爆电机安装规范，接地良好。
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排气处理：根据工况需求，排气口可连接排气管路，将气体排出至指定区域；抽取腐蚀性、有毒气体时，需在排气口加装尾气处理装置，符合环保及**标准。
四、原厂备件及保养周期（全系列通用+分型号差异）
1. 常用易损+保养备件（全系列通用）
• 专用润滑脂：全系列采用ULVAC原厂专用高温润滑脂（型号：ULVAC G-700），用于螺杆轴承润滑，禁止使用普通润滑脂或机油，避免损坏轴承及螺杆。
• 易损件：轴承、油封、密封O型圈（分型号适配尺寸）、进气过滤器滤芯、排气过滤器、联轴器缓冲垫、电机散热风扇、压力传感器。
• 大修备件：螺杆转子、转子轴、轴承座、泵体、进出口法兰、电机、水冷系统密封圈（仅水冷机型）、防爆密封组件（仅防爆机型）。
2. 分型号保养周期
• MS120A：日常检查（每日）；小保养（更换润滑脂+滤芯）每2000小时或6个月；中修（更换轴承+油封）每10000小时；大修（螺杆+泵体检修）每20000小时。
• MS600A：日常检查（每日）；小保养每2000小时或6个月；中修每10000小时；大修每20000小时；水冷版本需额外检查冷却系统，每3个月清洗一次冷却管路。
• MS1200A：日常检查（每日，含水冷系统检查）；小保养（换润滑脂+滤芯）每2500小时或6个月；中修每12000小时；大修每24000小时；水冷系统每2个月清洗一次冷却管路，检查密封圈老化情况。
• 特殊工况：高负荷、高温度、含腐蚀性气体或粉尘场景，缩短小保养周期至3-4个月；抽取含粉尘气体时，需增加进气过滤器清洁频率，每周清洁一次，避免污染物沉积导致泵腔堵塞。
3. 日常保养重点
• 每日检查：MS120A/MS600A（风冷）检查润滑脂状态、运行噪音、震动情况、真空度；MS600A（水冷）/MS1200A额外检查水冷系统液位、压力、水温，确保冷却水路通畅，无泄漏。
• 定期检查：管路密封情况、联轴器同轴度、轴承温度（正常运行温度≤80℃），避免过载运行；**更换润滑脂建议在运行500小时后进行，**磨合期间产生的金属颗粒。
• 换脂要求：更换专用润滑脂时，需彻底排出旧润滑脂，清洗轴承座、润滑管路，再加注新润滑脂，禁止不同型号润滑脂混合使用；清洁泵腔时，仅可用手转动螺杆，避免电机高速运转导致沉积物损坏泵体。
五、常见故障+快速排查解决（全系列通用）
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常见故障
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故障原因
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解决方法
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真空度达不到要求
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管路漏气、进气过滤器堵塞、螺杆间隙过大、润滑脂变质、压力传感器故障
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检漏保压、清洁/更换进气过滤器、调整螺杆间隙、更换专用润滑脂、检修压力传感器
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运行噪音大、震动强
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轴承老化、螺杆偏移、地脚不平、联轴器不同心、泵腔进入异物
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更换轴承、校正螺杆位置、调平设备、校正联轴器同轴度、停机清理泵腔异物
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电机过载、频繁跳闸
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电压不稳、电机过热、泵腔堵塞、负载过大、冷却系统故障（水冷机型）
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稳压供电、检查散热系统、清理泵腔、降低运行负荷、检修水冷系统
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润滑脂泄漏
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油封老化、润滑脂加注过多、接口松动、轴承座密封损坏
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更换油封、调整润滑脂加注量、紧固接口、更换轴承座密封件
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泵体发热严重
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冷却系统故障（水冷机型）、散热**（风冷机型）、润滑脂不足/变质、过载运行
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检修水冷系统、清洁散热翅片、补充/更换专用润滑脂、降低运行负荷、改善通风条件
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无法启动
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电源故障、电机损坏、泵腔卡死、过载保护触发、联轴器卡滞
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检查电源、检修电机、拆解清洁泵腔、复位过载保护装置、检查联轴器
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六、衍生机型&适用场景
1. 可选配版本（全系列可定制）
• 标准型：默认版本，MS120A为风冷，MS600A为风冷/水冷可选，MS1200A为水冷，适配常规工业洁净高真空场景，无油污染，性价比高，可单独运行。
• 防爆型：具备防爆认证（Exd II BT4），定制防爆电机及隔爆结构，适配溶剂、易燃易爆气体等危险工况，确保运行**。
• 耐腐蚀型：采用特殊防腐涂层及不锈钢材质，优化密封结构，具有优异的耐腐蚀性，可处理含轻微腐蚀性气体的场景，防止泵体内部腐蚀损坏。
• 高效节能型：定制变频电机，可根据真空度需求调节转速，降低能耗，适配长期连续运行的工况，减少运行成本。
• 洁净型：优化泵腔结构，采用无死角设计，便于清洁，适配半导体、制药、食品等对洁净度要求极高的场景，避免污染物残留。
2. 分型号核心适用场景
• MS120A：小型实验室真空设备配套、小型电子元件封装、小型真空干燥、精密仪器真空配套等小流量洁净场景，适配对油污染敏感的小型工况。
• MS600A：中型锂电池脱气、真空蒸馏、制药冻干、太阳能电池片生产等中流量工况，可适配轻微腐蚀性气体，风冷/水冷可选，适配多种环境。
• MS1200A：大型半导体制造（CVD、PECVD、蚀刻工艺）、大型真空镀膜、冶金热处理、大型腔体真空处理等大流量高真空场景，需长期连续运行的工业严苛工况。
ULVAC爱发科MS系列螺杆式干式真空泵，作为工业级洁净真空核心设备，覆盖小、中、大流量全场景，凭借无油污染、运行稳定、维护便捷的优势，适配半导体、锂电池、制药等多个对真空度和洁净度要求严苛的行业，无需搭配前级泵即可独立运行，有效提升真空系统效率，降低运行及维护成本，是现代工业真空系统的优选设备。