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日本原装进口EBARA荏原EV-M502N 干式真空泵
产品型号:EBARA荏原-EV-M502N
产品简介:

EBARA荏原EV-M系列干式真空泵,是日本荏原(EBARA)旗下中小型工业级无油真空设备系列,全系列采用单级罗茨啮合旋转结构,均属于干式无油真空泵,全程无油、无接触啮合,无需润滑油润滑,从根源上杜绝油污染,契合实验室、小型电子、精密制造、小型化工等对洁净度要求极高的中小型工况需求。该系列核心作用是直接抽取气体,实现系统高真空环境,全机型均可独立运行,无需搭配前级泵,凭借空冷节能、体积紧凑、低振动

详细介绍


日本原装进口EBARA荏原系列核心共性优势

  • 无油洁净:全系列均为干式无油设计,无润滑油污染,适配对介质洁净度要求高的工况,无需额外处理废油,环保且降低运维成本。
  • 独立运行:单级罗茨结构设计,无需搭配前级泵,开机即可达到额定真空度,简化系统配置,节省安装空间与采购成本。
  • 空冷节能:全系列标配空冷(自然冷却+强制散热),无需额外配备冷却系统,能耗低,适配无冷却水源的场景,运行成本可控。
  • 稳定耐用:转子与泵腔无接触摩擦,磨损小,电机配备过热、过载、缺相保护,符合IEC 34-11标准,运行**可靠,使用寿命长。
  • 灵活适配:全系列支持防爆、耐腐蚀、洁净、氮气吹扫等定制版本,可根据不同行业工况需求灵活定制,适配多场景应用。
  • 维护便捷:结构简洁,易损件通用度高,保养流程标准化,无需专业技术人员,可降低维护成本与停机时间。

二、系列核心机型及参数速查(50Hz 工频,标准工况)

型号
公称抽速(m³/h)
极限真空(Pa)
电机功率(kW)
冷却方式
*大连续进气压力(mbar)
适配工况类型
EV-M102N
10
≤0.5
0.75
空冷(自然冷却+强制散热)
1013
小型实验室、微型真空设备配套
EV-M202N
20
≤0.5
1.1
空冷(自然冷却+强制散热)
1013
小型洁净工况、实验室配套、负载锁
EV-M302N
30
≤0.5
1.5
空冷(自然冷却+强制散热)
1013
中小型电子封装、小型真空镀膜
EV-M502N
50
≤0.5
2.2
空冷(自然冷却+强制散热)
1013
中流量工业工况、小型制药冻干
注:1. 60Hz工况下,全系列抽速提升约20%,适配海外电压(208-230V/460V),电压 tolerance±10%,50/60Hz双频自适应;2. 全系列标配三相异步中小型电机,可定制防爆电机(Exd II BT4),适配易燃易爆中小型工况;3. 极限真空为常温、洁净空气搭配标配气镇工况下测试值,全系列无需搭配前级泵,单独运行即可达到该真空度;4. 全系列电机配备过热、过载、缺相保护,符合IEC 34-11标准,运行**可靠;5. 全系列具备基础水蒸气耐受性,适配含少量可凝蒸汽的工况,可加装氮气吹扫装置提升可凝蒸汽处理能力;6. 全系列整机防护等级IP54,防尘防水,适配多种中小型工业及实验室环境;7. 各机型具体尺寸、重量等细节详见后续单机型说明。

三、各机型安装&外形关键尺寸(系列精简版)

1. EV-M102N(微型空冷型)

  • 整体尺寸(长×宽×高):约 480×360×450 mm
  • 地脚安装孔:横向320mm、纵向220mm(孔径φ10mm)
  • 进出口法兰规格:DN32(ISO标准法兰),接口密封面为平面密封,适配氟橡胶密封垫
  • 安装要求:硬质水平地面(实验室台面、微型设备支架均可),加装小型减震垫,四周预留≥80mm散热维护空间,人工可轻松搬运(整机重量≤35kg),无需专用起重设备;进气口需加装高精度过滤器(过滤精度≤1μm),防止粉尘、杂质进入泵腔,避免转子磨损;适配实验室、微型腔体等紧凑空间安装,可壁挂式安装(需定制支架)。

2. EV-M202N(小型空冷型)

  • 整体尺寸(长×宽×高):约 520×400×500 mm
  • 地脚安装孔:横向380mm、纵向250mm(孔径φ12mm)
  • 进出口法兰规格:DN40(ISO标准法兰),接口密封面为平面密封,适配氟橡胶密封垫
  • 安装要求:硬质水平地面(实验室台面、小型设备支架均可),加装小型减震垫,四周预留≥100mm散热维护空间,人工可轻松搬运(整机重量≤45kg),无需专用起重设备;进气口需加装高精度过滤器(过滤精度≤1μm),防止粉尘、杂质进入泵腔,避免转子磨损;适配实验室、小型腔体、设备负载锁等紧凑空间安装,可壁挂式安装(需定制支架)。

3. EV-M302N(中小型空冷型)

  • 整体尺寸(长×宽×高):约 580×450×550 mm
  • 地脚安装孔:横向420mm、纵向280mm(孔径φ12mm)
  • 进出口法兰规格:DN50(ISO标准法兰),接口密封面为平面密封,适配氟橡胶密封垫
  • 安装要求:硬质水平地面、小型设备底座均可,加装中型减震垫,四周预留≥120mm散热维护空间,整机重量≤60kg,可两人搬运或使用小型起重设备;进气口需加装高精度过滤器(过滤精度≤1μm),防止粉尘、杂质进入泵腔,避免转子磨损;适配中小型电子封装、小型镀膜等工况,可落地或支架安装。

4. EV-M502N(中型空冷型)

  • 整体尺寸(长×宽×高):约 650×500×600 mm
  • 地脚安装孔:横向480mm、纵向320mm(孔径φ14mm)
  • 进出口法兰规格:DN65(ISO标准法兰),接口密封面为平面密封,适配氟橡胶密封垫
  • 安装要求:硬质水平地面、中型设备底座,加装中型减震垫,四周预留≥150mm散热维护空间,整机重量≤85kg,需使用小型起重设备搬运;进气口需加装高精度过滤器(过滤精度≤1μm),防止粉尘、杂质进入泵腔,避免转子磨损;适配中流量工业工况、小型制药冻干等场景,落地安装为主。

系列通用安装要求

  1. EV-M系列全机型均为单级罗茨式干式真空泵,可单独启动运行,无需搭配前级泵;启动前需检查电源电压、管路连接情况、气镇装置(如有),确认无误后再启动,避免泵体损坏;系统建议配备对应规格压力开关或压力传感器,实时监控真空度,适配中小型真空系统需求。
  2. 安装需水平,倾斜角度≤2°,用水平仪校准,防止转子运行偏移,导致磨损、噪音增大;连接管路时,需确保泵体不承受管路张力或应力,避免泵壳变形,管路建议加装对应规格支架,减轻泵体接口负荷。
  3. 管路连接:进出口管路需与各机型法兰规格匹配,使用专用氟橡胶密封垫,连接后进行检漏保压测试(保压30分钟,压力降≤5Pa),避免漏气影响真空度;连接管路长度≤2m,管径不小于对应机型法兰规格,腐蚀性工况需选用耐腐蚀管路;抽取可凝蒸汽时,需在管路加装对应规格冷凝装置,减少泵腔结露。
  4. 接线要求:严格按照各机型电机额定电压(三相380-415V/50Hz)接线,确认电机正反转(反转会导致泵体转子碰撞损坏),建议加装对应规格过载保护、缺相保护、漏电保护装置,确保用电**,接线端子需做好密封防护,防止粉尘进入。
  5. 安装环境:远离高温、潮湿、腐蚀性气体,避免阳光直射,环境温度控制在5-40℃,相对湿度≤90%(无结露);实验室安装时,需做好泵体密封防护,避免粉尘进入电机及泵腔;易燃易爆工况需确保防爆电机安装规范,接地良好;含可凝蒸汽工况需保证环境通风,减少冷凝水堆积。
  6. 排气处理:根据工况需求,排气口可连接对应规格排气管路,将气体排出至指定区域;抽取腐蚀性、有毒气体时,需在排气口加装对应规格尾气处理装置,符合环保及**标准;含可凝蒸汽工况需在排气口加装对应规格排水装置,及时排出冷凝水。