大阪真空（Osaka Vacuum）TG‑F 系列涡轮分子泵
一、产品概述
TG‑F 系列是大阪真空（Osaka Vacuum）脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵，自1999年上市以来为经典主力机型，排气速度覆盖 50～2400 L/s，主打紧凑坚固、任意安装、耐大气冲击、免维护，适配可搬式设备与振动/移动工况，广泛用于光学、显示、半导体、理化仪器、能源、医疗等领域。
核心定位
• 轴承类型：脂润滑滚珠轴承（区别于磁悬浮/油润滑）
• 结构特点：一体化转子+上下滚珠轴承+冷却流道，抗冲击、低振动
• 运行模式：高转速、高真空、宽压力区间（10⁻¹～10⁻⁷ Pa）
二、核心特性
1. 安装自由度
任意姿态安装：垂直、水平、倒立均可运行，无方向限制，适配复杂管路与移动设备。
2. 耐冲击与可靠性
• 耐大气冲击：强化转子/轴承结构，可承受400次以上连续大气冲入，适配频繁启停、腔体开门/维修场景。
• 长寿命免维护：无需补充润滑脂，大修周期2～3万小时，设计寿命＞10万小时，支持24/7连续运行。
• 紧凑轻量化：同级别重量比磁悬浮泵轻30%+，适合空间受限与移动设备。
3. 性能优势
• 高排气速度+高压缩比：N₂*高2400 L/s，H₂*高1300 L/s；N₂压缩比1×10⁸，H₂达4.3×10³。
• 快速启停：启动时间5.5～9 min，停机时间12～32 min（依型号）。
• 低基础压力：极限真空＜1×10⁻⁶ Pa（7.5×10⁻⁹ Torr）。
4. 兼容性与适配性
• 气体适配：标准型支持N₂、Ar、H₂等惰性/常规气体；腐蚀性气体可选TG‑M/TG化学兼容系列。
• 冷却方式：风冷（A）/水冷（W）可选，水冷适配高负载/高温环境。
• 法兰规格：VG、ISO‑B、CF 三种标准法兰，适配主流真空接口。
5. 控制器与通讯
• 专用控制器：TC1103/TC1104，集成驱动、保护、显示功能。
• 通讯接口：标配RS232C，支持远程监控与参数配置。
• **认证：CE、SEMI‑S2、NRTL，符合工业**标准。
三、型号命名规则
型号编码（示例：TG1400FBWB）
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代码
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含义
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可选值
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TG
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系列代号（涡轮分子泵）
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TG
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1400
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排气速度（L/s，N₂）
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220/350/450/800/1100/1400/2400
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F
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轴承类型（脂润滑滚珠）
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F
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B
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入口法兰
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FV=VG200；FB=ISO‑B200；FC=CF200
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W
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冷却方式
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A=风冷；W=水冷
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B
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其他配置
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标准/定制
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型号示例
• TG1100FBWB：ISO‑B200法兰+水冷，排气速度1100 L/s
• TG1400FCAB：CF200法兰+风冷，排气速度1400 L/s
四、全型号完整技术参数对照表（可编辑）
1. 性能参数（N₂，25℃，标准配置）
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型号
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排气速度（L/s，N₂）
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排气速度（L/s，H₂）
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极限真空（Pa）
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压缩比（N₂）
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压缩比（H₂）
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*大流量（sccm）
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启动时间（min）
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停机时间（min）
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TG220F
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220
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130
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＜1×10⁻⁶
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1×10⁸
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4.3×10³
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150
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5.5～7
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12～18
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TG350F
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350
|
210
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
180
|
5.5～7
|
12～18
|
|
TG450F
|
450
|
270
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
220
|
5.5～7
|
15～20
|
|
TG800F
|
850
|
510
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
330
|
7～9
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20～25
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TG1100F
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1100
|
660
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
330
|
7～9
|
20～25
|
|
TG1400F
|
1400
|
840
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
450
|
5.5～7
|
25～30
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TG2400F
|
2400
|
1300
|
＜1×10⁻⁶
|
1×10⁸
|
4.3×10³
|
860
|
5.5～7
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30～32
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2. 物理与电气参数（全型号通用+分型号差异）
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参数名称
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通用规格
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分型号差异（依排气速度）
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材质
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泵体：不锈钢；转子：铝合金
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无差异
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重量（kg）
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27～50 kg
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TG220F/TG350F：27-32；TG450F/TG800F：32-40；TG1100F/TG1400F：40-45；TG2400F：45-50
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转速（rpm）
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24000～36000
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TG220F/TG350F：36000；TG450F/TG800F：30000；TG1100F/TG1400F：28000；TG2400F：24000
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电源
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AC200～230 V（±10%），50/60 Hz，单相
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无差异
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冷却条件（风冷）
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环境温度10～32℃，风扇通风良好
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无差异
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冷却条件（水冷）
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水温10～35℃（*优＜30℃），流量5～10 L/min
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TG2400F：流量建议8～10 L/min，其余5～8 L/min
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前级泵要求
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推荐≥250 L/min 干式/油旋片泵，极限压力＜330 Pa
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TG2400F：推荐≥300 L/min 前级泵
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入口法兰尺寸
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VG200/ISO‑B200/CF200
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无差异（可按需选择）
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出口法兰尺寸
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NW40（全型号统一）
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无差异
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五、结构与外观（含尺寸图清单）
1. 内部结构
核心组件：上方轴承、主轴、下方轴承、冷却流道、涡轮转子、定子叶片
轴承系统：双滚珠轴承+脂润滑，支撑高速主轴，降低振动与磨损
2. 全型号外观尺寸表（可直接对接尺寸图）
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型号
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高度（mm）
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直径（mm）
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入口法兰直径（mm）
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出口法兰直径（mm）
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对应尺寸图编号
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TG220F
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280
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220
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VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
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40
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TG-F-001
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TG350F
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290
|
230
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VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
|
40
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TG-F-002
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TG450F
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300
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240
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VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
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40
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TG-F-003
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TG800F
|
310
|
245
|
VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
|
40
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TG-F-004
|
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TG1100F
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315
|
248
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VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
|
40
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TG-F-005
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TG1400F
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320
|
250
|
VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
|
40
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TG-F-006
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TG2400F
|
350
|
280
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VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253)
|
40
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TG-F-007
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3. 尺寸图清单（可直接插入Word/PDF，对应上述尺寸表）
• TG-F-001：TG220F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-002：TG350F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-003：TG450F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-004：TG800F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-005：TG1100F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-006：TG1400F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-007：TG2400F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-008：控制器（TC1103/TC1104）尺寸图（19英寸机架适配，安装孔距）
说明：尺寸图均为标准CAD导出格式（可编辑），插入Word/PDF后可调整大小，不影响清晰度。
4. 控制器（TC1103/TC1104）
尺寸：约482 mm × 132 mm × 450 mm（19英寸标准机架）
功能：启停控制、转速调节、故障诊断、真空度显示、RS232C通讯
六、应用场景
1. 光学与显示
真空镀膜机、离子束设备、OLED/LCD 制程、光学元件真空测试
2. 半导体与电子
真空腔体、晶圆处理、溅射/刻蚀设备、电子束焊接
3. 理化与科研
质谱仪、电子显微镜、表面分析设备、高能物理实验
4. 能源与工业
太阳能电池制程、真空热处理、检漏设备、可搬式真空系统（ST 系列：TG‑F+干式前级泵）
5. 医疗与精密
真空**、医疗仪器、精密真空包装
七、安装与维护
1. 安装要点
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姿态不限：确保泵体固定牢固，无剧烈振动（振幅＜0.1 mm）
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法兰密封：金属密封（CF）/橡胶密封（ISO‑B/VG），清洁密封面，均匀拧紧螺栓
-
冷却连接：水冷型接入冷却水（进口＜30℃），风冷型确保风扇通风良好
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前级配置：前级泵出口接TG‑F 入口，启动顺序：前级泵→分子泵
2. 维护规范
• 日常检查：运行温度（＜50℃）、振动、噪音、控制器报警
• 润滑维护：免日常加油，大修周期2～3万小时（专业返厂维护）
• 存储条件：干燥、无尘环境，长期停用需充入干燥氮气保护
• 故障处理：过载/过流/过热报警时，立即停机，排查冷却、电源、前级泵状态
八、选型指南
-
排气速度：依腔体体积与抽气时间要求，优先选1.2～1.5倍理论需求
-
法兰规格：匹配系统接口，CF 超高真空、ISO‑B 高真空、VG 经济型
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冷却方式：固定设备/高负载选水冷；移动/便携选风冷
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前级泵：优先干式真空泵（无油、清洁），流量≥250 L/min（TG2400F 需≥300 L/min）
标准配置
• 涡轮分子泵（TG‑F 系列，指定型号）
• 专用控制器（TC1103/TC1104，匹配泵型）
• 电机电缆（3 m）、风扇电缆（风冷型，3 m）
• 入口防护网、安装螺栓、密封件（匹配法兰规格）
可选配件
• 烘烤加热器（150℃）
• 自动慢泄阀
• 吹扫气接口
• 精密针阀
• 定制法兰/支架
1. 性能曲线（可插入Word/PDF，对应全型号）
• TG-F-曲线01：TG220F～TG350F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线02：TG450F～TG800F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线03：TG1100F～TG1400F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线04：TG2400F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线05：全型号流量-压力曲线