大阪真空（Osaka Vacuum）TGkine 系列涡轮分子泵 

一、产品概述

TGkine 系列是大阪真空（Osaka Vacuum）磁悬浮轴承式复合涡轮分子泵，主打无油清洁真空、高排气量、耐腐蚀性、智能集成，排气速度覆盖 1700～3400 L/s，专为半导体、FPD、光伏等高负载 / 腐蚀性工艺场景设计，兼容频繁启停、大气体流量及复杂姿态安装，是**真空制程的核心主力泵型。

核心定位

• 轴承类型：磁悬浮轴承（无接触、无油润滑，区别于 TG‑F/TG‑M 系列脂润滑轴承）
• 结构特点：复合涡轮 + 牵引级结构、磁悬浮转子系统、内置控制器、耐腐蚀腔体涂层、高效冷却流道
• 运行模式：高转速、高真空、大流量区间（10⁻¹～10⁻⁸ Pa），适配惰性 / 腐蚀性 / 大流量气体介质

二、核心特性

1. 无油清洁真空（磁悬浮核心优势）

2. 超高排气性能与大流量能力

• 排气速度：N₂*高 3400 L/s，H₂*高 2700 L/s，大流量工况下抽速稳定；
• 压缩比：N₂＞1×10⁸，H₂达 3×10³，强压缩比适配轻气体（H₂/He）高效抽排；
• 极限真空：＜2×10⁻⁷ Pa（1.5×10⁻⁹ Torr），超高真空稳定性优异；
• 大气体流量：N₂*大 2600 sccm，适配 CVD、刻蚀等大流量工艺。

3. 耐腐蚀性与长寿命设计

• 腔体与转子：耐腐合金 + PTFE 涂层，兼容 Cl₂、HF、HBr、NF₃等半导体腐蚀性工艺气体；
• 磁悬浮系统：无机械磨损，设计寿命＞20 万小时，大修周期 5～8 万小时，支持 24/7 连续运行；
• 抗冲击能力：强化磁悬浮控制算法，可承受500 次以上大气冲入，适配频繁开门 / 维修场景。

4. 智能集成与便捷运维

• 控制器一体设计：泵体集成驱动 / 控制单元，无需外接控制器，节省安装空间，支持参数自动存储与数据迁移（更换控制器不丢数据）；
• 多重通讯：标配 EtherCAT/RS232C/DI‑DO，兼容工业总线，支持远程监控、参数配置与故障诊断；
• 智能预警：内置振动 / 温度 / 转速传感器，实时监测运行状态，提前预警轴承异常、过热、过载，降低停机风险。

5. 安装自由度与紧凑轻量化

• 任意姿态安装：垂直、水平、倒立均可稳定运行，无方向限制，适配复杂管路与设备集成；
• 紧凑轻量化：同级别磁悬浮泵中体积*小、重量*轻（64～65 kg），节省设备空间，适配可搬式与移动工况。

6. 节能与**认证

• 省电设计：磁悬浮低功耗驱动，比传统分子泵节能 30%+，长期运行成本低；
• **认证：CE、SEMI‑S2、NRTL，符合半导体工业**标准，适配高危腐蚀与高压工艺环境。

三、型号命名规则

型号编码（示例：TGkine3300M‑R）

型号示例

• TGkine3300M‑R：ISO‑R 法兰、耐腐蚀、排气速度 3300 L/s；
• TGkine1700M‑B：ISO‑B 法兰、耐腐蚀、排气速度 1700 L/s。

四、全型号完整技术参数对照表（可编辑）

1. 性能参数（N₂，25℃，标准配置）

2. 物理与电气参数

五、结构与外观（含尺寸图清单）

1. 内部结构（磁悬浮核心设计）

• 磁悬浮轴承：无接触支撑转子，消除机械磨损，降低振动（振幅＜0.05 mm）；
• 复合叶片：涡轮级 + 牵引级组合，兼顾高抽速与大压缩比，适配轻气体与大流量工况。

2. 全型号外观尺寸表

3. 尺寸图清单（可直接插入 Word/PDF）

• TGkine‑001：TGkine1700M 尺寸图（含安装孔、法兰、控制器接口）；
• TGkine‑002：TGkine3300M‑R 尺寸图（含安装孔、法兰、水冷接口）；
• TGkine‑003：TGkine3400M‑R 尺寸图（含安装孔、法兰、通讯接口）；
• TGkine‑004：控制器一体接口定义图（EtherCAT/RS232C/DI‑DO）。

六、应用场景

1. 半导体制造

• 刻蚀设备（RIE/ICP）：抽排 Cl₂、HBr、NF₃等腐蚀性工艺气体；
• CVD 设备（PECVD/LPCVD）：适配大流量硅烷、氨气等气体抽排；
• 离子注入 / 溅射：高洁净度、高真空环境，无油污染风险。

2. FPD 与光伏

• OLED/LCD 制程：真空镀膜、等离子体清洗，耐腐蚀性与高抽速适配；
• 太阳能电池：PECVD 镀膜、真空层压，大流量工况稳定运行。

3. **科研与精密设备

• 表面分析（XPS/AES）：超高真空、无油环境，保障检测精度；
• 加速器 / 宇宙模拟器：大流量、高稳定性，适配极端真空工况。

4. 腐蚀性气体处理

• 化工真空反应釜：抽排 HF、SiCl₄等腐蚀性气体；
• 废气处理系统：高压缩比处理低浓度腐蚀性废气。