大阪真空（Osaka Vacuum）TG 系列涡轮分子泵

一、TG‑F 系列（标准型・脂润滑滚珠轴承）

• 轴承：脂润滑陶瓷滚珠轴承，免日常维护，大修周期 2～3 万小时。
• 排气速度：N₂ 50～2400 L/s（TG50F / TG70F / TG220F / TG350F / TG450F / TG800F / TG1100F / TG1400F / TG2400F）。
• 极限真空：＜1×10⁻⁷ Pa（CF 法兰）。
• 特点：小型轻量、耐振动冲击、任意姿态安装；适配半导体、FPD、分析仪器、镀膜等洁净 / 弱腐蚀场景。
• 外观：紧凑型铝制泵体，ISO‑R/B/CF 法兰，风冷 / 水冷可选。

二、TG‑M 系列（耐腐蚀型・脂润滑滚珠轴承）

• 轴承：耐腐专用脂润滑滚珠轴承，密封强化，抗化学侵蚀。
• 排气速度：N₂ 320～2400 L/s（TG390M / TG420M / TG900M / TG1300M / TG2400M）。
• 极限真空：＜1×10⁻⁶ Pa（ISO‑B）/ ＜1×10⁻⁷ Pa（CF）。
• 特点：耐腐合金 + PTFE 涂层，可承受 400+ 次大气冲入；任意姿态安装，适配刻蚀、CVD、等离子体处理、化工科研等强腐蚀场景。
• 外观：与 TG‑F 尺寸兼容，可直接替换；泵体防腐蚀涂层，耐腐密封件。

三、TGkine 系列（高性能型・磁悬浮轴承）

• 轴承：五轴磁悬浮轴承，无接触、无油、零磨损，设计寿命＞20 万小时。
• 排气速度：N₂ 1700～3400 L/s（TGkine1700M / 3300M‑R / 3400M‑R）。
• 极限真空：＜2×10⁻⁷ Pa。
• 特点：全无油污染、大流量（N₂ 2600 sccm）、智能集成控制器、EtherCAT/RS232C/DI‑DO 通讯；适配半导体**制程、OLED、光伏、表面分析、加速器等严苛场景。
• 外观：一体泵控设计，体积紧凑，重量 52～65 kg，水冷标配。