ANEST IWATA（阿耐思特岩田）ISP 系列无油涡旋真空泵

一、产品概述

• 核心优势：无油无污染、低振动低噪音、风冷免维护、高极限真空、节能高效
• 流量范围：50～1000 L/min（50Hz）
• 极限真空：≤5～20 Pa（高真空级）
• 冷却方式：风冷（无需冷却水）
• 驱动电机：单相 / 三相，多电压适配（全球通用）
• 认证：CE、CSA、RoHS 合规

二、核心特性

1. 无油洁净真空，杜绝污染

• 涡旋腔完全无油，润滑油不逆扩散，排气清洁，无油雾、无碳氢污染，适配半导体、分析仪器、医疗、食品包装等高洁净场景
• 无齿轮结构，无齿轮油泄漏风险，维护极简，无废油处理成本。

2. 低振动低噪音，安静稳定

• 涡旋机构吸气 / 压缩 / 排气连续，扭矩波动小，振动极低、噪音≤55 dB (A)，适合实验室、精密设备旁安装
• 整机动平衡优化，运行平稳，可24 小时连续运转。

3. 风冷免维护，安装灵活

• 风冷散热，无需冷却水，无水管路、无水质要求，安装不受水源限制，任意角度可装。
• 无油无水设计，日常无维护，无需换油、无需检查油位，仅定期清洁进气过滤器即可

4. 高极限真空，抽速稳定

• 极限真空可达 **≤5 Pa（ISP‑90 及以上）**，中高真空性能优异，适合真空镀膜、真空退火、检漏、 glovebox 
• 从大气压到极限真空功率变化小，抽速稳定，耐受频繁启停与大气‑真空切换。

5. 结构紧凑，节能环保

• 涡旋结构体积小、重量轻，相比同级油旋片泵更小巧，节省安装空间。
• 高效电机 + 涡旋低损耗设计，能耗低，长期运行成本低。

• 型号与核心参数（50Hz/60Hz）

  
  

  型号	抽气速度（L/min）	极限真空（Pa）	功率（kW）	重量（kg）	进气口	出气口
  ISP‑50	50/60	≤20/15	0.2	12	NW25	NW16
  ISP‑90	90/108	≤5	0.3	14	NW25	NW16
  ISP‑250C	250/300	≤5	0.4	25	NW40	NW25
  ISP‑500C	500/600	≤5	0.75	44	NW40	NW25
  ISP‑1000E	1000/1200	≤5	1.5	68	NW50

  结构特点

  • 涡旋盘：动涡旋与静涡旋精密啮合，间隙极小，压缩效率高
  • 风冷电机：IP54 防护，绝缘等级 F，适配全球电压（100～240V 单相 / 380～480V 三相）
  • 进气过滤器：标配可拆卸滤芯，防粉尘进入泵腔
  • 排气消音器：降低排气噪音，清洁排气
  • 底座：铸铁减震底座，振动更低，安装稳固。

  五、应用场景

  1. 半导体与电子

  • 真空镀膜（溅射、蒸镀、离子镀）
  • 晶圆 / 芯片真空吸附、真空测试
  • 电子束焊接、真空封装

  2. 实验室与分析仪器

  • 质谱、SEM、TEM、XRD 等高真空设备前级泵
  • 真空蒸馏、真空干燥、离心浓缩
  • 环境检测、气体分析、检漏系统

  3. 工业精密制程

  • 真空热处理、真空退火、真空钎焊
  • 锂电池 / 新能源材料真空脱气
  • 医疗设备、制药真空包装
  • 真空吸盘、真空夹具（CNC / 自动化）

  4. 科研与**制造

  • 同步辐射、加速器、核物理实验
  • 太空模拟舱、手套箱（Glovebox）
  • 光学元件真空镀膜、精密光学检测