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Taiko（大晃）TDP600（螺杆干式真空泵）
产品型号：TDP-600
产品简介：

大晃 Taiko TDP 系列（单级螺杆干式真空泵）中真空、通用型、性价比路线，单级无罗茨，比 BEH 便宜、紧凑、好维护。 应用场景 半导体：刻蚀、CVD、PVD（中真空段） 光伏：硅片拉晶、PECVD、真空干燥 化工：蒸馏、脱气、溶剂回收 锂电：极片干燥、注液前真空
详细介绍


大晃 Taiko TDP 系列（单级螺杆干式真空泵）

定位：中真空、通用型、性价比路线，单级无罗茨，比 BEH 便宜、紧凑、好维护。

一、核心型号与参数（2026，原装水冷）


型号 抽速 L/min (50/60Hz) 极限真空 Pa 电机功率 kW 冷却水量 L/min 重量 kg
TDP-300 3,000/3,600 ≤0.13 7.5 6 450
TDP-600 6,000/7,200 ≤0.13 11 8 680
TDP-1200 12,000/14,400 ≤0.13 15 10 950

结构：单级非接触螺杆（Queen Bee Screw），无油无水

转速：3000rpm(50Hz)/3600rpm(60Hz)，低磨损、低噪音

材质：泵体铸铁（可选 316 不锈钢），螺杆耐磨涂层



  • 控制：标配LCD 智能控制器，带保护与通讯


三、TDP vs BEH 关键区别

对比项 TDP 系列 BEH 系列
结构 单级螺杆 螺杆 + 罗茨（机组）
极限真空 0.13 Pa 0.08 Pa（更高）
抽速范围 3k～12k L/min 7k～30k L/min
功率 7.5～15 kW 5.5+5.5 kW 起
价格 便宜 20%～30% 偏贵
维护 更简单、备件少 稍复杂
典型用途 通用半导体、光伏、化工 **半导体、FPD、大流量高真空

型号命名（TDP-1200）

  • TDP：系列代号（T = 干式，D = 直接驱动，P = 标准真空）
  • 1200：60Hz 近似抽速（m³/h）