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Taiko（大晃）TRIC4500（螺杆干式真空泵）
产品型号：TRIC-4500
产品简介：

大晃 Taiko TRIC 系列（超大抽速螺杆干式真空泵） 定位：超高流量、高真空、**制程，抽速30,000～60,000 L/min，极限真空0.08 Pa，是大晃**干泵系列，比 BEH 更大、更贵、更稳。 化工：蒸馏、脱气、溶剂回收 锂电：极片干燥、注液前真空
详细介绍


大晃 Taiko TRIC 系列（超大抽速螺杆干式真空泵）

定位：超高流量、高真空、**制程，抽速30,000～60,000 L/min，极限真空0.08 Pa，是大晃**干泵系列，比 BEH 更大、更贵、更稳。


核心型号与参数（2026，原装水冷，50/60Hz）

型号 抽速 L/min (50/60Hz) 极限真空 Pa 电机功率 kW 冷却水量 L/min 重量 kg
TRIC-3000 30,000/36,000 ≤0.08 37+55 25 2,800
TRIC-4500 45,000/54,000 ≤0.08 55+75 35 3,800
TRIC-6000 60,000/72,000 ≤0.08 75+90 45 4,800
  • 结构：螺杆 + 罗茨集成机组（高真空大流量），非接触 “蜂后螺杆”
  • 转速：1500/1800 rpm（低速低磨损）
  • 材质：球墨铸铁 + 耐磨涂层，可选 316 不锈钢腔体
  • 控制：高配智能 PLC + 触摸屏，带通讯与全保护

应用场景

  • 半导体：刻蚀、CVD、PVD 整线排气、大型腔体
  • 光伏：硅片拉晶炉集群、PECVD 大产能线
  • FPD：高世代玻璃基板制程
  • 化工 / 锂电：大型反应釜、极片干燥线

型号命名（TRIC-3000）

  • TRIC：T = 干式，R = 罗茨增压，I = 集成，C = 高真空
  • 3000：60Hz 抽速约 3,000 m³/h