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Taiko（大晃）RMC3500罗茨机械增压泵
产品型号：RMC-3500
产品简介：

大晃 Taiko RMC 系列（罗茨机械增压泵 / 干泵机组） 定位：中高真空、大流量、前端增压，是罗茨泵 + 螺杆干泵的集成机组，专门给 TDP/BEH 做前级增压，抽速3,500～20,000 L/min，极限真空0.1 Pa，比单螺杆泵抽得更快、真空更高
详细介绍


大晃 Taiko RMC 系列（罗茨机械增压泵 / 干泵机组）

定位：中高真空、大流量、前端增压，是罗茨泵 + 螺杆干泵的集成机组，专门给 TDP/BEH 做前级增压，抽速3,500～20,000 L/min，极限真空0.1 Pa，比单螺杆泵抽得更快、真空更高。

一、核心定位与原理

  • 全称：Roots Mechanical Booster = 罗茨机械增压器（不能单独用，必须配大晃 TDP/BEH 干泵做前级）
  • 结构：罗茨转子（增压段）+ 螺杆干泵（前级段） 直联集成，PLC 联动控制
  • 作用：大幅提升抽速 + 提高极限真空 + 降低前级泵功耗，适合中高真空制程

二、核心型号与参数（2026，原装水冷，50/60Hz）

型号 抽速 L/min (50/60Hz) 极限真空 Pa 电机功率 kW（罗茨 + 干泵） 重量 kg 适配前级
RMC-3500 3,500/4,200 ≤0.1 5.5+2.2 550 TDP-3000
RMC-6000 6,000/7,200 ≤0.1 7.5+3.7 850 TDP-6000/BEH-7000
RMC-10000 10,000/12,000 ≤0.1 15+5.5 1,300 BEH-12000
RMC-20000 20,000/24,000 ≤0.1 30+11 2,100 BEH-24000/30000
  • 转子：大晃蜂后螺杆（Queen Bee Screw），非接触、低磨损、耐粉尘
  • 转速：罗茨 1500/1800 rpm + 螺杆 3000/3600 rpm，低速低噪
  • 材质：球墨铸铁 + 耐腐蚀涂层，可选 316 不锈钢腔体
  • 控制：智能 PLC + 触摸屏，联动启停、过载保护、氮气吹扫接口

RMC vs TDP vs BEH vs TRIC 定位

系列 类型 抽速 L/min 极限真空 Pa 适用场景
TDP 单级螺杆干泵 3,000～12,000 0.13 通用、中真空、低成本
RMC 罗茨 + 螺杆增压机组 3,500～20,000 0.1 中高真空、大流量、前端增压
BEH 螺杆 + 罗茨集成干泵 7,000～30,000 0.08 **半导体、FPD、大流量高真空
TRIC 大型螺杆 + 罗茨机组 30,000～60,000 0.08 超大腔体、半导体 / 光伏整线

芯片 / 半导体核心应用场景

  1. 刻蚀（Etching）：RMC-10000/20000 + BEH，快速抽气 + 高真空，减少腔室等待时间
  2. CVD/PVD 薄膜沉积：RMC-6000/10000 + TDP/BEH，稳定 0.1 Pa 级真空，膜层均匀
  3. 离子注入：RMC-20000 + BEH-30000，大流量排气 + 低粉尘残留
  4. 晶圆脱气 / 退火：RMC-3500/6000 + TDP，高效脱气 + 低能耗