二、核心型号与参数（50/60Hz 通用）

1. mXDS（微型，便携）

2. nXDS（标准，主流）

3. XDS（大型，高抽速）

三、关键特性

• 完全无油 + 高洁净：真空腔无润滑剂，轴承隔离设计，杜绝油污染，适配半导体 / 半导体工艺洁净要求。
• 低噪音低振动：运行噪音 **≤52–55dB (A)**，涡旋盘精密动平衡，振动极小，适合实验室 / 洁净室环境。
• 强蒸汽处理：标配可调气镇，处理水蒸气 / 溶剂蒸汽，nXDS15i 达 240g/h，适配湿法工艺。
• 长维护周期：端面密封寿命 5 年，轴承护罩隔离真空与润滑，现场可快速更换密封，维护成本低。
• 智能控制：nXDS/XDS 配集成变频，支持 RS232/485 远程控制，自动电压适配（100–240V），过载保护。

四、工作原理

五、半导体典型应用

1. 前级真空（干泵替代）：为分子泵 / 涡轮泵提供无油前级真空（10⁻²–10⁻⁴mbar），适配沉积、刻蚀、离子注入设备。
2. Load-Lock / 传输腔：中小型晶圆传输腔的主抽泵，快速建真空，无油污染，提升晶圆良率。
3. 分析 / 检测设备：SEM、XPS、质谱等高真空分析仪器的标配干泵，保障洁净与稳定。
4. 光伏 / LED 工艺：薄膜沉积、封装、脱气工序，替代传统油封泵，无油污染、低维护。

六、XDS vs 其他爱德华干泵（选型参考）

七、使用要点

• 安装：可水平 / 垂直安装，入口支持多方向，适配紧凑空间。
• 介质：禁吸大量粉尘 / 液体；腐蚀性气体需选PTFE 涂层 + 氮气吹扫。
• 维护：nXDS 密封5 年更换，XDS 密封2–3 年检查，涡旋盘间隙5 年校准。