一、核心定位与用途

• 设备类型：干式触媒分解 + 氟化物固定（无燃烧、无洗涤）。
• 核心场景：半导体刻蚀 / 沉积（PFCs 为主）、光伏 / 面板、无废水处理设施的实验室、无燃料管道场景。
• 处理对象：PFCs（CF₄/C₂F₆/CF₃等），对 CF₄去除率≥99.9%；不处理 H₂/Cl₂等高浓度可燃 / 酸性气。

二、型号与核心规格

• FDS100S（单筒式）
  • *大进气量：100 L/min
  • 反应槽：1 个（单筒）
  • 尺寸（宽 × 深 × 高）：600×600×2000 mm
  • 检测：标准荷重计、可选 PFC 检测器
• FDS250（双筒式）
  • *大进气量：250 L/min
  • 反应槽：2 个（串行，可不停机更换）
  • 尺寸：1520×1000×2150 mm
  • 检测：标准 PFC 检测器
• 共性参数
  • 电源：208/400 VAC，50/60 Hz，约 1.2 kVA（低功耗）
  • 耗材：专用氟固定触媒（更换周期按 PFCs 浓度而定）
  • 排放：无废水、无 NOx、无 CO

三、关键技术特点（对比 G5/G6-E）

1. 纯干式、零水零燃料：无需天然气 / 丙烷、无需工艺水，无废水排放，适合缺水 / 无燃料厂区。
2. PFCs 超高效分解：专属高温触媒，CF₄去除率≥99.9%，C₂F₆≥99%，优于燃烧式 G5/G6-E。
3. 氟化物固态固定：分解后氟元素在反应槽内固化为稳定盐类，无二次污染，残渣无害化处理。
4. 低能耗、长周期：仅触媒加热（无需燃烧），待机功耗低；双筒式（FDS250）支持在线更换反应槽，100% 稼动率。
5. 维护极简：无燃烧器 / 洗涤塔 / 水泵，仅定期更换触媒；前门全开，检修便捷。

四、优缺点总结

• 优点：PFCs 去除率极高、零水零燃料零废水、低能耗、无燃烧**风险、维护简单、残渣无害化。
• 局限：仅处理 PFCs（不能处理 H₂/Cl₂/ 硅烷）、触媒需定期更换（耗材成本）、不适合含大量粉尘工况。

五、FDS vs G5/G6-E 选型边界

• 选 FDS：废气以PFCs 为主、无燃料 / 废水设施、实验室 / 小流量（≤250 L/min）、追求零排放。
• 选 G5/G6-E：含H₂/Cl₂/ 硅烷 / TEOS等可燃 / 酸性气、大流量（≥350 L/min）、外延 / 刻蚀混合废气。

六、应用场景建议

• 半导体刻蚀机 / PECVD尾气（纯 PFCs）
• 高校 / 企业研发实验室（无公用工程配套）
• 光伏 / 面板钝化工艺（PFCs 清洗）
• 需碳中和 / 零废水排放的**制程