一、型号（共 2 款）

• SDM-320-TVL2：标准高真空型
• SDM-320-THL2：高泄漏等级 / 高洁净型（更高密封要求）

二、核心参数（50/60Hz）

三、关键特点

• 无油高真空：极限真空达 ≤3 Pa，远超 GVS（≤500 Pa）/ DVSL（≤100 Pa），接近 ISP **机型。
• 高洁净无泄漏：全金属密封 + 氟橡胶，无油雾、无返流，适配半导体 / 分析仪器高洁净环境。
• 低噪低振：57dB (A)，涡旋结构无齿轮，可近场安装。
• 空冷免维护：无需冷却水，无油设计，24 小时连续运行，维护周期长。
• 气镇功能：可处理少量水蒸气，适合轻度含水汽的洁净工艺。

四、典型应用

• 分析仪器（质谱、电镜、X 射线）
• 半导体 / 电子（镀膜、光刻、检测）
• 科研 / 实验室（高真空实验、样品制备）
• 精密检漏、真空腔体维持
• 作为涡轮分子泵（VTC/VTU）的前级泵