型号总览

VTC 系列（标准型高真空机组）

• VTC-050：小型，适配 ISP-50 前级泵
• VTC-080-LV：中型，适配 ISP-90 前级泵
• VTC-150-LV1/LV2：大型，适配 ISP-250C/500C 前级泵
• VTC-300-EH：超大型，高抽速，适配 ISP-1000E 前级泵VTU 系列（紧凑型高真空机组）
  • VTU-050：小型，适配 ISP-50
  • VTU-080-LH/LHA1/LHA2：紧凑型，适配 ISP-90，带阀选项
  • VTU-080-LM1/LMA1/LM2/LMA2：高洁净型，适配 ISP-50-SV1/SV2
  • VTU-500：大型，适配 ISP-500C，用于高真空腔体维持

  二、核心参数对比

  型号	组合配置	极限真空 (Pa)	抽速 (L/s)	前级泵	重量 (kg)
  VTC-050	分子泵 + ISP-50	10⁻⁶	50	ISP-50	85
  VTC-080-LV	分子泵 + ISP-90	10⁻⁶	80	ISP-90	95
  VTC-150-LV1	分子泵 + ISP-250C	10⁻⁶	150	ISP-250C	150
  VTC-300-EH	分子泵 + ISP-1000E	10⁻⁶	300	ISP-1000E	280
  VTU-050	分子泵 + ISP-50	10⁻⁶	50	ISP-50	75
  VTU-080-LH	分子泵 + ISP-90	10⁻⁶	80	ISP-90	85
  VTU-500	分子泵 + ISP-500C	10⁻⁶	500	ISP-500C	220

  三、关键特点

  • 全无油设计：涡旋前级泵无油，分子泵无油润滑，全程无油污染，适配高洁净工艺。
  • 超高真空：组合极限真空达10⁻⁶ Pa，满足电镜、质谱、半导体镀膜等高真空需求。
  • 全自动控制：支持手动 / 自动双模式，自动模式一键启动，前级泵与分子泵联动，防误操作。
  • 低噪低振：整体噪音≤60dB(A)，涡旋 + 分子泵组合振动小，可近场安装。
  • 集成化设计：一体化机架，内置真空计、阀门、过滤器，即插即用，减少现场安装成本。
  • 保护功能完善：过压、过流、过热、缺水（可选）保护，24 小时连续运行可靠。

  四、典型应用

  • 分析仪器：电子显微镜（SEM/TEM）、质谱仪（MS）、X 射线衍射仪（XRD）
  • 半导体：真空镀膜、光刻、刻蚀、检测设备高真空腔维持
  • 科研：同步辐射、加速器、表面物理实验、高真空检漏系统
  • 工业：真空热处理、真空焊接、精密真空包装（高真空端）

  五、VTC/VTU 与其他系列对比

  系列	真空等级	抽速范围	核心优势	典型场景
  VTC/VTU	超高真空 (10⁻⁶ Pa)	50–500 L/s	高洁净、全自动	电镜、半导体、科研
  SDM	高真空 (≤3 Pa)	315–380 L/min	小型、高洁净	分析仪器前级、实验室
  ISP	中高真空 (≤5–10 Pa)	50–1000 L/min	通用、无油	工业真空、前级泵
  GVS	低真空 (≤500 Pa)	250–1000 L/min	耐水汽、低成本	吸附、干燥、脱泡