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SATOVAC 佐藤真空SDP-14油扩散泵
产品型号：SDP--14
产品简介：

SSATOVAC 佐藤真空 SDP 系列为油扩散泵，需配合前级机械泵使用，主打10⁻⁵ Pa 级超高真空，性价比高，广泛用于实验室、小型镀膜及真空设备
详细介绍

核心原理

通过加热扩散油产生超音速油蒸气流，高速喷射带走气体分子，实现高真空排气；不可单独运行，必须配油回转机械泵作前级。

主要特点

  • 高真空：极限真空可达 10⁻⁵ Pa（无冷阱），满足超高真空需求。
  • 抽速覆盖广：小型 SDP-2（58–125 L/s）至大型 SDP-14（2350–3600 L/s），适配不同腔体尺寸。
  • 冷却方式灵活：标准水冷型（SDP-2/3/4/6…）与空冷型（SDP-2A/3A/4A），适配无水源场景。
  • 低油返流：标配 / 可选水冷挡板，油返流低至 10⁻⁴ mg/cm²·min，减少污染。

型号与关键参数（精选）

型号 抽速（L/s） 极限真空（Pa） 油量（mL） 功率（kW） 冷却方式
SDP-2 58（有挡板）/125（无挡板） 10⁻⁵ 50 0.33 水冷
SDP-2A 58 7.5×10⁻⁴ 47 0.33 空冷
SDP-3 150（有挡板）/280（无挡板） 10⁻⁵ 100 0.5 水冷
SDP-6 465（有挡板）/810（无挡板） 10⁻⁵ 340 1.0 水冷
SDP-10 1200（有挡板）/2070（无挡板） 10⁻⁵ 820 1.9 水冷

典型应用

  • 实验室高真空系统、小型镀膜机、电子束焊接、真空热处理、质谱 / SEM 设备、真空腔体排气。