一、系列型号与定位

• 定位：100% 无油、双螺杆、风冷、自排水；抽速 65–200 m³/h，极限真空 <0.01 mbar，适配高湿 / 含溶剂 / 轻微腐蚀工况。
• 主流型号（50/60 Hz）：
  • VD65：65 / 78 m³/h
  • VD100：100 / 120 m³/h
  • VD160：160 / 192 m³/h
  • VD200：200 / 240 m³/h
• 派生版本：
  • HD/O₂版：不锈钢排气 + 内置吹扫，适配氧气等离子体、强腐蚀、易爆气体。
  • VDi 系统：集成VAControl CAB 智能控制，远程监控、节能、自动启停，适合量产线 / 中央真空。

二、核心参数（50 Hz，标准气镇）

• 极限真空（开气镇）：<0.1 mbar
• 水汽耐受（气镇）：60 mbar，可抽液态水 / 溶剂液滴
• 噪音：64–69 dB (A)（内置消音器）
• 防护：IP55，防尘防水，适配恶劣车间
• 电压：三相 200/400V（50Hz）、230/460V（60Hz）

三、关键特点

1. 完全无油：真空腔零润滑油，零返油，适合洁净室 / 质谱 / 半导体。
2. 超强耐水汽：优化温度场 + 大流量气镇，可抽液态水，水汽容量*高6.9 kg/h，远超普通干泵。
3. 坚固耐用：皮带驱动（非直连）、低转速、少磨损，连续运行≥8000 小时免维护。
4. 自排水设计：冷凝水自动排出，无积液风险，防腐蚀、防结垢。
5. 高效节能：比同规格油封泵节能约 40%；VDi 版智能调压，待机功耗更低。

四、典型应用

• 化工 / 制药：蒸馏、结晶、干燥、反应釜、溶剂回收、腐蚀性气体。
• 电子 / 半导体：等离子清洗、刻蚀、沉积、检漏、O₂等离子体（HD/O₂版）。
• 光伏 / 新能源：硅片脱气、镀膜前级、电池封装、真空焊接。
• 通用工业：中央真空系统、真空成型、压铸、热处理、物流搬运。
• 科研 / **制造：大型仪器前级、洁净室真空、无油高真空需求