一、核心型号与参数（主流）

1. 涡轮分子泵（标准型）

2. 混合分子泵（复合轴承，高稳定）

• EMP‑240H：混合轴承（机械 + 磁悬浮），抽速 240 L/s，极限真空＜5×10⁻⁸ Pa，振动≤0.1 μm，启动＜4 min，适配精密分析仪器。
• EMP‑600H：抽速 600 L/s，极限真空＜8×10⁻⁸ Pa，压缩比 H₂＞8×10³，水冷 / 空冷可选，用于镀膜、半导体工艺。

二、关键特性

• ✅ 无油超高真空：无需冷阱 / 油挡板，极限真空8×10⁻⁸ Pa，洁净无油污染。
• ✅ 高抽速 + 大压缩比：抽速*高3600 L/s；N₂压缩比＞10⁸，H₂＞10³，轻气抽除能力强。
• ✅ 混合轴承（**款）：高真空侧磁悬浮 + 前级侧陶瓷机械轴承，免维护、低振动（≤0.1 μm）、长寿命。
• ✅ 宽运行范围：可在10⁻³～10⁻⁸ Pa稳定运行，适配从低真空到超高真空的过渡。
• ✅ 紧凑低噪：转速 13,500～30,000 rpm，噪音≤50 dB，支持任意角度安装。

三、典型应用

1. 半导体制造：光刻机、刻蚀机、沉积设备的超高真空腔室。
2. 真空镀膜：磁控溅射、电子束蒸发、PECVD 等高真空工艺。
3. 分析仪器：SEM、TEM、XPS、SIMS 等表面分析设备。
4. 航天与科研：空间模拟舱、真空热处理、核聚变装置。
5. 工业**制程：真空脱气、离子注入、光学元件镀膜。

四、与微型泵系列（SV/MV/MX/SF）区别

五、选型要点

1. 真空度需求：HV（10⁻³～10⁻⁷ Pa）选标准涡轮；UHV（＜10⁻⁷ Pa）选混合轴承款。
2. 抽速匹配：腔体体积越大、放气率越高，需选更大抽速（如 3600 L/s 用于大型镀膜线）。
3. 前级泵配置：分子泵需前级泵（如旋片泵、干泵）预抽至＜1 Pa 方可启动，推荐前级抽速为分子泵的 1/100～1/50。
4. 气体类型：含大量 H₂/He 时，优先选高氢压缩比型号（如 EMP‑1200，H₂压缩比 1×10⁴）。